1996年，由雷天觉、丁衡高等23位院士、有关高校和科研院所的专家教授75人发起建议成立。2004年5月25日，民政部批复，同意筹备成立。2005年4月5日，正式成立“中国微米纳米技术学会”并召开第一次全国会员代表大会。2016年2月，加入中国科协。学会会址设在北京，第一、二届理事长为顾秉林，目前为第三届理事会。