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  • SiGe/Si HBT发射结构的寄生势垒及其地器件室温和低温特性的 …

    • 摘要：

      研究了SIGE/SI HBT基区B杂质的偏析和外扩散对器件影响.发现用MBE生长的SIGE基区中,在材料生长时B杂质的上述行为会严重破坏器件

    • 作者：

      徐晨

    • 刊名：

      半导体学报

    • 在线出版时间：

  • 掩膜对GaAs基二维光子晶体ICP刻蚀效果的影响

    • 摘要：

      结合刻蚀GaAs基光子晶体在光子晶体垂直腔面发射激光器中的应用,研究了光刻胶、SiO2掩膜的特性以及对GaAs基二维光子晶体ICP刻蚀效果的

    • 作者：

      徐晨

    • 刊名：

      纳米技术与精密工程

    • 在线出版时间：

  • 特气室温红外探测器的噪声分析

    • 摘要：

      由MEMS技术制备的特气室温红外探测器的噪声主要包括温度噪声、机械热噪声和背景噪声.从理论上建立了器件的基本热模型,推导得到器件的等效热熔和

    • 作者：

      徐晨

    • 刊名：

      光学精密工程

    • 在线出版时间：

  • 方形重掺杂硅薄膜的极限载荷分析

    • 摘要：

      考虑残余应力的情况下,薄膜在大挠度时总应力的解析表达式.通过实验观察,深腐蚀得到的浓硼重掺杂硅薄膜表面存在微蚀坑.考虑微蚀坑和残余应力的影响

    • 作者：

      徐晨

    • 刊名：

      传感技术学报

    • 在线出版时间：

  • 一种新颖的低温硅片直接键合技术

    • 摘要：

      提出一种使用CF4等离子体激活处理硅片表面来降低退火温度的低温硅片直接键合新方法.硅片用CF4等离子体激活处理,经过亲水处理预键合后,再在N

    • 作者：

      赵慧,徐晨

    • 刊名：

      中国机械工程

    • 在线出版时间：

  • 低温SIGE/SI HBT的研制及性能分析

    • 摘要：

      用MBE(分子束外延,MOLECULARBEAMEPITAXY)生长的材料研制了在低温工作的SIGE/SIHBT(异质结双极型晶体管,HET

    • 作者：

      邓军,徐晨

    • 刊名：

      电子学报

    • 在线出版时间：