研究了用RF溅射法制备的FE-N薄膜经过250℃磁场热处理后高频磁导率的变化情况.实验结果发现,在优化生长条件下生长的FE-N薄膜样品,在1
顾有松
真空科学与技术学报
用微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)在硅片和铂基片上生长了氮化碳薄膜.扫描电镜(SEM)观察显示,在硅片上形成了多晶的膜;EDX能谱分
顾有松,时东霞
人工晶体学报
用微波等离子体化学气相沉积法 (MPCVD)在硅和铂衬底上得到高质量的C3 N4薄膜 .计算了α C3 N4和β C3 N4单相X射线谱的峰
中国科学A辑
β-C3N4的理论预言发表之后,经过广大科学工作者近10年的努力,已经取得了一些重要进展.理论上对碳氮化合物的研究已经更为广泛和深入.实验合
物理
用MPCVD法在SI等基片上沉积了氮化碳薄膜.扫描电镜观察表明,在硅表面上形成了比较致密的六棱形晶棒.EDX和XPS能谱测量表明晶棒中的氮碳
中国学术期刊文摘
采用微波等离子体化学气相沉积法,用高纯氮气(99.999%)和甲烷(99.9%)作反应气体,在多晶铂(PT)基片上沉积C3N4薄膜.利用扫描
真空科学与技术