需求发布 成果发布 科创案例库 揭榜挂帅
技术路演 会议展览 科创联合体 项目申报
前沿动态 科技政策 院士开讲 青托工程
科技服务团 学术资源
试点城市(园区) 双创活动周
协作站点 学会服务
问题库 项目库 开源库
English

科研成果

  • 总发文数(篇)

    0

  • 总被引数(次)

    0

  • H指数

    0

  • 篇均被引(次)

    0

  • TOP1%高被引

    0

  • TOP10%高被引

    0

  • FWCI

    0

  • 国际合作发文数(篇)

    0

成果分析

期刊发文数占比

重点学科匹配度

论文历年发表情况

合作发文情况

文章被引情况

科研论文 更多

  • 微电子机械系统

    • 摘要：

    • 作者：

      陈迪

    • 刊名：

      科学(上海)

    • 在线出版时间：

  • LIGA技术进展

    • 摘要：

      LIGA技术进展陈迪(上海交通大学信息存储研究中心)LIGA是德文LITHOGRAPIE,GALVANOFORMUNG和ABFORMUNG三

    • 作者：

      陈迪

    • 刊名：

      仪器仪表学报

    • 在线出版时间：

  • 平面微弹簧的模拟、加工制备和力学性能表征研究

    • 摘要：

      微弹簧是一种重要的MEMS器件,可为微传感器和微执行器提供弹性力.我们设计并用UV-LIGA技术制备了数种不同形状的平面微弹簧,并用ANSY

    • 作者：

      陈迪

    • 刊名：

      微纳电子技术

    • 在线出版时间：

  • 新型LIGA掩模板制造工艺研究

    • 摘要：

      LIGA掩模板的制备是LIGA技术中的关键工艺,利用最近发展起来的硅感应耦合等离子体(ICP)深层刻蚀工艺开发出了新型LIGA掩模板.与其它

    • 作者：

      陈迪

    • 刊名：

      高能物理与核物理

    • 在线出版时间：

  • 新型LIGA掩摸板制造工艺研究

    • 摘要：

      LIGA掩模板的制备是LIGA技术中的关键工艺.利用最近发展起来的硅感应耦合等离子体(ICP)深层刻蚀工艺开发出了新型LIGA掩模板.与其它

    • 作者：

      陈迪

    • 刊名：

      高能物理与核物理

    • 在线出版时间：

  • DEM技术中微复制工艺研究

    • 摘要：

      利用DEM(DEEPTCHING,ELECTROFORMING,MICROREPLICATION)技术获得的微复制金属模具进行了微复制工艺研

    • 作者：

      陈迪,张卫平

    • 刊名：

      微细加工技术

    • 在线出版时间：