研究方向: 高性能MEMS传感器,微系统及微能源技术 研究成果: 针对我国新一代石油勘探装备的应用需求，通过敏感结构和加工工艺等关键技术创新，研制出高性能MEMS振动传感器产品，量程2g，动态范围达到120dB，为目前国内外同类MEMS传感器产品中的最高性能指标，打破了国际垄断，为新型“全数字地震数据采集系统”重大装备的研发提供了重要支撑；研制的抗单粒子闩锁加速度传感器模块作为关键载荷，已提供给我国系列微纳卫星应用；研制出数模混合的惯性传感器闭环接口 ASIC 电路，采用检测读出与加力反馈分时工作的方式，避免了时域上相互重叠对传感器工作稳定性的影响，其单粒子闩锁效应阈值激光能量大于81.6nJ，对应等效LET值大于200MeV·cm2/mg,达到国际先进水平；研制的MEMS陀螺芯片照片刊登在国际著名MEMS杂志JMM封面上，引起了国际同行的高度关注。