科创中国

行业领域

新能源及节能技术

需求背景

随着5G技术、云技术、智能技术和半导体技术的发展，国内对高端芯片用湿电子化学品需求量与日俱增，产品质量要求也越来越苛刻。 本项目湿电子化学品拟以满足高端芯片需求为目标，以提升湿电子化学品种类、产品质量、分析检测方法和品质管理为核心，推动其产、销、质中国一流并批量进入全球市场；以市场功能湿化学品需求为依托，重点研发配方类和复配类电子化学品，如电子级双氧水、氨水、氟化铵、硫酸、硝酸、盐酸等产品，拓宽应用领域和市场份额。  拟解决的关键共性技术有： （1）针对电子级湿化学品双氧水、氨水、氟化铵、硫酸、硝酸、盐酸等各自不同物化性能，开展并完成高效连续精馏提纯工艺研究和应用技术研究，产品品质优于行业或国家标准，可与国外产品相媲美，生产成本低于同行业水平，具有较强的市场竞争力。 （2）进行大通量微装备技术开发以及湿电子化学品超净化处理研究，确定高生产效率和产品的超净过滤方式；同时开展包装容器超净清洗技术研究。 （3）研究开发湿电子化学品的三废高效梯级利用，提高环保效益和经济效益。 （4）进行超净高纯化学品分析测试技术研究。

需解决的主要技术难题

针对电子级湿化学品双氧水、氨水、氟化铵、硫酸、硝酸、盐酸等各自不同物化性能，开展并完成高效连续精馏提纯工艺研究和应用技术研究；开展包装容器超净清洗技术研究。

期望实现的主要技术目标

（1）完成湿电子化学品高效连续精馏提纯工艺研究和应用技术研究；

（2）生产成本低于同行业平均水平；

（3）实现绿色生产和应用。

需求解析

解析单位：“科创中国”纳米技术专业科技服务团（上海市纳米科技与产业发展促进中心） 解析时间：2023-11-21

李小丽

上海市纳米科技与产业发展促进中心

研究员

综合评价

湿电子化学品是电子工业中的关键性基础化工材料，为电子信息行业与化工行业的交叉领域、处于电子信息产业链的前端，也是重要的支撑材料之一，其质量的好坏，直接影响到电子产品的成品率、电性能及可靠性。随着国内对高端芯片用湿电子化学品需求量与日俱增，人们对产品质量要求也越来越苛刻。湿电子化学品行业具有庞大的需求市场，开发超净高纯以及多规格的湿电子化学品将极大提高国产化率。 开发超净高纯以及多规格的湿电子化学品要根据电子级湿化学品各自不同的物化性能，开展并完成高效连续精馏提纯工艺研究和应用技术研究。湿电子化学品对纯度和洁净度要求极高，在生产、检测、包装、运输各环节也要达到高标准。同时要进行大通量微装备技术开发以及湿电子化学品超净化处理研究，确定高生产效率和产品的超净过滤方式。研究开发湿电子化学品的三废高效梯级利用，提高环保效益和经济效益。

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