科创中国
一种915MHz大面积金刚石沉积系统的研发
发布时间:
2023-09-08
来源:
科技服务团
截止日期:2023-11-08
价格 双方协商
地区： 北京市 市辖区 朝阳区
需求方： 北京***公司
行业领域
电子信息技术,新材料技术,新型电子元器件
需求背景
研发一种915MHz大面积金刚石沉积系统，金刚石作为重要的半导体材料，目前最先进的金刚石合成方法为微波等离子体化学气相沉积技术，工业上微波的常用频率为915MHz和***，现有***设备功率低，沉积面积一般在2到3英寸，是目前国内市场上的主流设备，而915MHz设备功率大，成熟程度低，国内只有少量科研设备，且沉积面积多小于5英寸，因此无法满足对大尺寸金刚石的需求。现需要一种915MHz大面积金刚石沉积系统，该系统属于《产业基础创新发展目录》中新材料中的半导体精密加工工艺与装备领域，同时也属于工业“六基”中的关键基础材料和产业技术基础领域，使用该系统可实现6英寸级金刚石沉积。
需解决的主要技术难题
1.基片台直径不小于***毫米，可实现6英寸级金刚石沉积；
2.沉积区域温差可控制在50℃以内；
3.同时兼具腔体和基片台水冷设计与基片台升降功能设计；
4.微波功率在10~50kW连续可调；
5.红外测温范围300-1400℃；
6.设备软件支持远程监控功能。
期望实现的主要技术目标
需达到效果：
1.突破技术瓶颈，达到参数指标要求；
2.实现6英寸级金刚石沉积，完成样机交付
需求解析
解析单位：“科创中国”新材料产业科技服务团（江西）（中国材料研究学会） 解析时间：2023-09-21
赵国栋
中国材料研究学会
项目主管
综合评价
金刚石是一种重要的半导体材料，在许多领域具有广泛应用，如电子、光电子、通信等。研发大面积金刚石沉积系统有助于满足对金刚石材料的需求，推动金刚石相关产业的发展。通过研发915MHz大面积金刚石沉积系统，可以弥补现有2.45GHz设备功率低、沉积面积受限的问题，满足对大尺寸金刚石的需求，提高金刚石材料的生产效率和质量。金刚石作为半导体材料的重要组成部分，其应用领域广泛，包括光电子、通信、能源等。研发大面积金刚石沉积系统有助于推动金刚石相关产业的发展，提供高质量、大尺寸的金刚石材料，满足不断增长的市场需求。该系统属于新材料中的半导体精密加工工艺与装备领域，以及工业“六基”中的关键基础材料和产业技术基础领域。研发和应用该系统将促进相关产业链的升级和创新，推动我国在金刚石材料和半导体加工领域的技术进步和竞争力提升。总体而言，该需求描述相对明确，对金刚石材料产业发展具有重要意义。通过研发915MHz大面积金刚石沉积系统，可以满足对大尺寸金刚石的需求，推动金刚石相关产业的发展，并提升我国在金刚石材料和半导体加工领域的竞争力。
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处理进度
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提交需求2023-09-08 16:23:54
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确认需求2023-09-11 09:36:49
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需求服务2023-09-15 08:17:22
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需求签约
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需求完成
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