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半导体高纯气体提纯关键技术、核心装备和材料的自主创新研发

发布时间: 2023-09-01
来源: 科技服务团
截止日期:2023-12-31

价格 双方协商

地区: 湖北省 黄石市 大冶市

需求方: 湖北***公司

行业领域

新材料技术

需求背景

在半导体材料领域,高纯度电子气体作为是集成电路制造的“血液”,是国产代替重要环节,也是急需国产化的产品。高纯度气体纯化设备决定了集成电路的性能、集成度、成品率。纯化设备若不合格会导致产品严重缺陷,或整条生产线被污染乃至全面瘫痪。进口高端装备的研发与国产化替代迫在眉睫,关键技术、核心装备、核心材料均需要自主创新研究。高纯度气体提纯和生产的关键技术、核心装备、关键材料,以及技术的创新升级与智能化,对半导体行业的发展和芯片的性能有重要的作用,是生产高端芯片、核心关键零件的基础工艺条件。采用自主研发技术替代进口,实现气体纯化关键技术和核心材料的自主创新和国产化,对我国半导体等行业由重要意义。

需解决的主要技术难题

基于自主创新研发生产半导体、光伏光纤、LED面板及化工、医药行业所用的高纯度气体纯化生产设备、关键技术、核心材料,使其提纯纯度达到9N级(国际最高标准版)或者更高,用来替代国外进口气源或者生产装备,填补国内空白。

期望实现的主要技术目标

气体纯度≥9N;生产工艺国产化;主体装备国产化;关键核心吸附材料国产化;装备和材料的使用寿命和次数达到国际先进水平。

需求解析

解析单位:“科创中国”湖北科技服务团(湖北省科学技术协会) 解析时间:2023-10-04

朱永平

湖北省机械工程学会

教授

综合评价

该技术需求背景介绍和需要解决的主要技术难题分析比较清晰,研发内容和期望实现的技术目标明确。开展的项目研究对行业技术提升具有重要的现实意义,项目研究成功对推动行业的技术进步具有重要的意义。企业综合实力较好、研发实力较强、发展前景好。技术需求真实,市场潜力大。
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处理进度

  1. 提交需求
    2023-09-01 19:33:33
  2. 确认需求
    2023-09-06 14:53:07
  3. 需求服务
    2023-09-06 14:53:07
  4. 需求签约
  5. 需求完成