半导体高纯气体提纯关键技术、核心装备和材料的自主创新研发
价格 双方协商
地区: 湖北省 黄石市 大冶市
需求方: 湖北***公司
行业领域
新材料技术
需求背景
在半导体材料领域,高纯度电子气体作为是集成电路制造的“血液”,是国产代替重要环节,也是急需国产化的产品。高纯度气体纯化设备决定了集成电路的性能、集成度、成品率。纯化设备若不合格会导致产品严重缺陷,或整条生产线被污染乃至全面瘫痪。进口高端装备的研发与国产化替代迫在眉睫,关键技术、核心装备、核心材料均需要自主创新研究。高纯度气体提纯和生产的关键技术、核心装备、关键材料,以及技术的创新升级与智能化,对半导体行业的发展和芯片的性能有重要的作用,是生产高端芯片、核心关键零件的基础工艺条件。采用自主研发技术替代进口,实现气体纯化关键技术和核心材料的自主创新和国产化,对我国半导体等行业由重要意义。
需解决的主要技术难题
基于自主创新研发生产半导体、光伏光纤、LED面板及化工、医药行业所用的高纯度气体纯化生产设备、关键技术、核心材料,使其提纯纯度达到9N级(国际最高标准版)或者更高,用来替代国外进口气源或者生产装备,填补国内空白。
期望实现的主要技术目标
气体纯度≥9N;生产工艺国产化;主体装备国产化;关键核心吸附材料国产化;装备和材料的使用寿命和次数达到国际先进水平。
需求解析
解析单位:“科创中国”湖北科技服务团(湖北省科学技术协会) 解析时间:2023-10-04
朱永平
湖北省机械工程学会
教授
综合评价
处理进度