硅基GAN电力电子器件研发
价格 双方协商
地区: 天津市 市辖区 西青区
需求方: 天津***公司
行业领域
新材料技术
需求背景
GaN器件的衬底材料一般为硅、碳化硅、蓝宝石三种,其中硅基AlGaN/GaN HEMT因 为其价格低、良好的晶圆尺寸可伸缩性而备受青睐。尽管良好的材料特性和异质结特性,但 硅基GaN HEMT的关态击穿电压仍然远低于理论上的极限值,这极大的限制了其在高压开关 领域中的应用。
硅基GaN HEMT中,由于衬底硅并非如碳化硅、蓝宝石那样完全绝缘,所以其关态击 穿特性与常规的HEMT器件不同:硅基GaN HEMT的关态击穿电压随着栅漏间距的增大会逐渐 饱和而非逐渐增大。饱和关态击穿电压的大小在栅漏间距不是很大时,与垂直方向上的外 延层厚度有直接关系。基于晶格失配以及大晶圆尺寸下弯曲度等的考量,外延层不能太厚, 因此在提高硅基GaN HEMT的关态击穿电压方面具有一定的挑战。
需解决的主要技术难题
该技术需解决:
*** HEMT的厚度是一个待解决的问题,通过控制其的厚度来获得较高的击穿电压。
2.器件的性能参数和可靠性不能达到产业化的预期,需要一种新的技术改善其性能参数。
期望实现的主要技术目标
a GAN 器件主要达成200V以下及600-750V电压等级的增强型器件
b 静动态参数达到市场主流产品水平
c 1000H高温可靠性评估以及对应的应用评估和客户认证
需求解析
解析单位:天津市滨海新区 解析时间:2023-06-07
吴正斌
天津中科先进技术产业有限公司
总经理
综合评价
处理进度