科创中国

行业领域

高新技术改造传统产业,高端装备制造产业

需求背景

开发具备≥30mN 大推力、行程≥300μm 的新型微型压电马达关键技术，能够满足手机连续光变、对焦等关键应用场景使用需要，具备广阔市场前景。可以助推本单位高端摄像模组产业链的自主化并且创造每年逾亿元新增产值，进一步提升我市在光电技术关键产业链中发展质量，打造全球领先产业高地。 

需解决的主要技术难题

关键技术一：高性能微型压电马达的优化设计方法。 微型压电马达致动器需结合摄像模组变焦、对焦时的多种 运动控制需求，进行多种模态和驱动方式的研究分析，实现有 限空间内的压电马达的紧凑型设计和稳定控制。因此，需建立面向手机领域的微型压电马达仿真优化分析方法，完善马达的动态特性仿真模型，形成压电马达的优化设计分析平台；研究微型压电马达内部元件的驱动、传动及控制方法，实现微型压 电马达致动器的优化设计及高可靠性集成。 

关键技术二：微尺度压电驱动元件的精密制造技术。 微型压电马达致动器的驱动元件厚度尺寸＜***，加工成型精度控制难度大。同时，在精密压电驱动元件加工技术基础上，需进一步制造适配的动子和从动结构，实现精密配合运动。因此，需要深入研究微尺度压电厚膜驱动元件的精密制造机理与方法，研究驱动接触摩擦层与驱动性能的匹配关系及其 形貌可控的成型技术，研究微型压电马达致动器传动机构形状与性能的协同设计与调控技术，研究微型压电马达模态振动及驱动性能的测试方法，获得高性能微型压电驱动元件和完整的压电马达致动器方案，并获得满足摄像驱动要求的驱动效果。 

期望实现的主要技术目标

1. 压电驱动元件指标：研发出至少一款高性能微型压电驱动元件：厚度≤*** ，宽度≤1mm ，长度≤10mm ，驱动负载≥20mN，双向运动速度≥20mm/s。

2. 微型压电马达致动器指标：研发出至少一款驱动电压≤10V、 推力≥20mN、行程≥300μm 的新型压电微致动器产品样机。

处理进度