科创中国

行业领域

电子信息技术,新材料技术,高技术服务业

需求背景

迫切需要 | 平行极板电容耦合均匀放电技术1、目前在技术方面存在的困难以及需解决的问题公司目前正在研发的PEALD、B扩散炉、异质结PECVD、PVD等设备均为新一代N型高效太阳电池生产所需的关键设备，在设备研制过程中，缺乏理论研究支撑、试验验证条件及高端人才团队，影响技术研发与产品开发进程。

攻克了在线式高产能管式PECVD设备、平板式PECVD设备、高温磷扩散设备、LPCVD、PVD等设备关键技术，成功研制出设备并应用于通威、天合等国内一线光伏厂商。

需解决的主要技术难题

相关技术指标或要求辉光放电稳定性：直流偏压波动在10%内；射频馈入到反射功率稳定时间：≤***；氧化硅层厚度：1-2nm；硼扩散均匀性：片内≤±5%；片间≤±4%；批间≤±4%；TCO膜均匀性：片内≤±5％、片间≤±5％、批间≤±5％；非晶硅膜均匀性：片内≤±3％、片间≤±10％、批间≤±5％。

期望实现的主要技术目标

预期成果及经济社会生态效益研制出用于新一代N型高效太阳电池生产用的关键设备：平板式PEALD、B扩散、异质结PECVD、PVD。以上设备的成功研制将进一步推动高效电池关键装备国产化，大幅降低国内光伏企业生产成本，加速太阳电池技术迭代。其中PEALD设备研制为国内首创，其成熟应用将提高电池生产良率，解决目前行业痛点问题，具有良好的社会经济效益。

处理进度