连续蒸镀系统及使用方法

发布时间: 2022-11-09

来源: 科技服务团

截止日期:2022-11-09

价格双方协商

地区：贵州省贵阳市南明区

需求方：贵州***公司

行业领域

制造业

需求背景

有机电致发光器件是采用蒸镀技术将多层材料复合而成，每种材料一般都是在单独的蒸镀室内完成蒸镀，然后在转运至下一个蒸镀室进行下一层材料蒸镀作业，直至完成所有层材料的蒸镀，为了保证蒸镀质量，整个作业均需要在真空环境下完成。

为了保证在一定时间内能够连续蒸镀作业，一般都是根据需要在蒸镀室内放置足够量的蒸镀源，但仍不能实现长时间的连续蒸镀作业。而且一次加入大量的蒸镀源需要较长的加热时间或较快的加热速度，而长时间的高温加热或较快的加热速度容易引起蒸镀源发生分解变质而失效，造成蒸镀源材料浪费。

需解决的主要技术难题

需要解决一次加入大量蒸镀源容易导致蒸镀源分解变质的问题以及不能长时间连续蒸镀作业的问题。

期望实现的主要技术目标

可以提高蒸镀作业效率，也可以节约蒸镀源，提高蒸镀源利用率，还可以降低由于加热蒸发蒸镀源产生的高温环境使掩膜板受热引起的变形，进一步提高蒸镀层质量。

需求解析

解析单位：“科创中国”智能技术体系化应用专业科技服务团（北京航空航天大学） 解析时间：2022-11-23

毕光元

智能技术体系化应用服务团

副团长

综合评价

此需求的具体要求未达到明确，需要与需求单位进一步沟通，蒸镀方法，其特征在于，采用具有至少一组蒸镀源的蒸镀设备进行，每组蒸镀源包括第一蒸镀源、第二蒸镀源、第三蒸镀源

处理进度

服务方

科创中国