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关键尺寸量测设备CD-SEM

发布时间: 2022-11-03
来源: 科技服务团
截止日期:2022-11-03

价格 双方协商

地区： 北京市 市辖区 海淀区

需求方： 东方***公司

行业领域

电子信息技术

需求背景

伴随着物联网逐渐兴起，人工智能进入成熟发展阶段，一些智能装置的需求变得更多了。这就需要更多的智能芯片、指纹识别传感器、智能设备MCU等，从而带动了8英寸（200mm)工艺制造的芯片需求，因此让8英寸的晶圆需求也不断扩大了。

需解决的主要技术难题

随着需求的扩大，近年来，分立器件、功率器件、MEMS、模拟芯片等产品需求切换至8英寸晶圆，导致其供应越发紧张。因此，各大晶圆代工厂都一直在扩充产能，例如：台积电和三星。总之，自2017年下半年开始，8 寸硅片的需求开始超过产能，并且很多旧机器（基本运行了10年以上）需要迫切更新。

期望实现的主要技术目标

关键尺寸量测设备(Critical Dimension Scanning Electron Microscope,简称CD-SEM)，通过对电子束显微图像进行关键尺寸量测，实现关键工艺参数的监控，是芯片制造过程中质量控制的关键设备。关键尺寸量测设备（型号：SEpA-c410）面向300mm硅片工艺制程，通过先进的电子束成像系统和高速硅片传输方案，搭配精准的量测算法，可实现高重复精度、高分辨率及高产能的关键尺寸量测。进驻中芯国际后，将通过实际产线验证，进一步提升、完善设备性能，向产业化目标整体迈进。

需求解析

解析单位：“科创中国”创业投资专业科技服务团（北京创业投资协会） 解析时间：2022-11-07

王剑华

中科先进基金

执行董事

综合评价

随着需求的扩大，近年来，分立器件、功率器件、MEMS、模拟芯片等产品需求切换至8英寸晶圆，导致其供应越发紧张。因此，各大晶圆代工厂都一直在扩充产能，例如：台积电和三星。总之，自2017年下半年开始，8 寸硅片的需求开始超过产能，并且很多旧机器（基本运行了10年以上）需要迫切更新。 因此，此次这款最新的8英寸CD-SEM，是有利于解决8英寸晶圆量产问题，可以说它交付的意义十分重大。
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处理进度

  1. 提交需求
    2022-11-03 16:07:23
  2. 确认需求
    2022-11-06 18:22:53
  3. 需求服务
    2022-11-06 18:22:53
  4. 需求签约
  5. 需求完成
服务方

“科创中国”创业投资专业科技服务团