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AMOLED蒸镀治具用金属掩膜板的蚀刻工艺仿真研究

发布时间: 2022-10-26
来源: 科技服务团
截止日期:2022-11-10

价格 双方协商

地区： 浙江省 嘉兴市 海宁市

需求方： 海宁*科协

行业领域

新材料产业

需求背景

解决AMOLED蒸镀治具用金属掩膜板的蚀刻工艺仿真技术

需解决的主要技术难题

通过构建金属掩膜板湿法化学蚀刻过程的多物理场仿真模型，研究蚀刻工艺内部化学反应机理。选取金属掩膜板制造过程中关键工艺参数，包括蚀刻液浓度、喷淋速度、蚀刻时间等；关键结构参数，包括掩膜形状尺寸、金属层厚度等；作为仿真模型重要输入变量，验证金属掩膜板相关工艺参数、结构参数的设计可行性。结合生产试验验证，得到针对性和符合实际设计需求的设计参数，以实现大幅降低试验方式设计成本、提高设计时间效率以及科学设计工艺参数的目的。化学蚀刻工艺影响因素众多；在初期，选取金属掩膜板制造过程中关键工艺参数；包括蚀刻液浓度、喷淋速度、蚀刻时间等，作为仿真模型重要输入定量；关键结构参数，包括掩膜形状尺寸、金属层厚度等；作为仿真模型重要输入变量，验证金属掩膜板相关结构参数的设计可行性；

期望实现的主要技术目标

1、 构建描述蚀刻过程的数值模型；2、 得出蚀刻工艺中化学溶液的流动及反应特征；3、得出各工艺参数对蚀刻过程的影响机理和影响规律；4、 得出各结构参数对蚀刻过程的影响机理和影响规律；5、 得出不同结构参数下的蚀刻形貌；包括蚀刻深度、侧面蚀刻量等；

处理进度

  1. 提交需求
    2022-10-26 09:55:29
  2. 确认需求
    2022-11-11 14:46:30
  3. 需求服务
    2022-11-11 14:46:30
  4. 需求签约
  5. 需求完成
服务方

“科创中国”北京科技大学专业科技服务团