科创中国

行业领域

电子信息技术,制造业,计算机及网络技术,通信技术

需求背景

由于日本、韩国的OLED行业整体起步较早，日本的金属掩膜板厂商DNP及日本TOPPAN已基本能制作300PPI的***\***用的FINE MASK，现正在研发350-400PPI的***\***\G6Q的FINE MASK产品。韩国的的金属掩膜板厂商SEWOO、POONGWON公司已基本能制作***\***\G6Q、***的OPEN MASK,现正在现正在研发***的OPEN MASK与300PPI的***\***\G6Q的FINE MASK产品。由于国内能制作量产的金属掩膜板种类较少，故金属掩膜板产品大部分需进口，而且在进口OLED金属掩膜板过程中，国内OLED面板厂商遭遇了严重的渠道封锁和市场歧视。日本DNP和日本TOPPAN为了防止技术泄密，并不向国内出口其高端产品。而且产能首先保证三星和LG的需求，故我们国内的面板厂商非常被动，举步维艰，严重制约着OLED面板在国内的量产。 

需解决的主要技术难题

对现阶段量产用的大尺寸金属掩膜板，无论是结构的设计、及制作后张紧的过程，还是开口加工的精度保证。均还存在设计方案的改良、工艺的调整、设备的更新等问题。

1、对金属掩膜板的精度要求；

2、金属掩膜板技术张紧工艺；

3、金属掩膜板内的结构设计； 

期望实现的主要技术目标

拟实现的主要技术目标：

开口精度≤+/-3um、

位置精度≤+/-3um、

最小孔径≤35um、

最小孔距≤50um、

孔的倾斜角50°+/- 3°、

平面度≤30um、

像素>300PPI。

需求解析

解析单位：广东省广州市 解析时间：2023-08-21

柯锐鹏

广州市科学技术协会

部长，博士

综合评价

此描述已足够清晰以便于专家进行需求跟进，需要研发一种高精度金属掩模版，开口精度和位置精度都小于正负0.3um，最小孔径不超过35um，最小孔距不超过50um，平面度小于等于30um，孔的倾斜角为50°，偏差不超过正负3°，像素高于300PPI。

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