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一种新型激光开槽设备及工艺的研发

发布时间: 2021-12-02
来源: 科技服务团
截止日期:2022-12-02

价格 200万

地区： 江苏省 无锡市 江阴市

需求方： 江阴***公司

行业领域

高端装备制造产业,制造业

需求背景

目前异质结电池的金属化采用低温银浆丝网印刷工艺，存在银栅线电导率低，组件焊接拉力小的缺点，且低温银浆成本高。直接电镀铜金属化工艺作为替代技术，具有成本低、栅线导电性高、焊接拉力大的优点。由于异质结电池正反两面都是透明导电薄膜，在铜电镀前需要掩膜和开槽，实现铜栅线的图形化。开发低成本掩膜和开槽工艺是实现铜电镀金属化工艺产业化的关键。

激光开槽具有速度快、技术成熟、损伤小的优点，在异质结电池电镀铜金属化掩膜开槽工艺中极具应用潜力，开发先进的开槽激光装备和工艺对推动异质结太阳电池的量产具有十分重要的现实意义。

需解决的主要技术难题

开发先进的开槽激光装备和工艺。

期望实现的主要技术目标

本项目拟开发的激光开槽设备和工艺达到如下指标：

（1）金字塔绒面开槽的宽度£ 30 微米，且开槽宽度均匀；

（2）标准210*210mm硅片的开槽工艺时间£ 10 秒；

（3）开槽工艺对异质结电池表面损伤小，开槽后异质结电池的暗饱和电流密度£ 10 fA/cm2；

        （4）激光开槽镀铜金属化异质结太阳电池的转换效率 ³ ***%。

处理进度

  1. 提交需求
    2021-12-02 16:55:29
  2. 确认需求
    2021-12-02 16:56:26
  3. 需求服务
  4. 需求签约
  5. 需求完成