铂薄膜电阻高温传感器

发布时间: 2021-11-19

来源: 科技服务团

截止日期:2021-12-31

价格双方协商

地区：江苏省扬州市高邮市

需求方：首凯***公司

行业领域

高端装备制造产业,制造业

需求背景

1、已完成前期市场调研；

2、已与哈尔滨工业大学王琮教授建立合作关系，已完成项目立项；

3、已经与江南大学梁峻阁教授建立合作关系，已经搭建好共同合作开发准备。

需解决的主要技术难题

1、采用膜式结构制成铂薄膜热敏电阻器；

2、采用铂敏感栅电阻，实现对阻值的微调整，不仅保证铂电阻的阻值精度，还要提高铂电阻的灵敏度；

3、铂薄膜热敏电阻器结构，利用有限元仿真软件进行模拟分析；

4、分析研究MEMS 加工工艺，在铂薄膜热敏电阻器制造中充分考虑各个工艺之间的相互影响，优化工艺参数，从设计和加工工艺上保证产品的性能指标和最终成品率。

期望实现的主要技术目标

希望与1、薄膜传感技术湖南省国防科技重点实验室

2、中国电子科技集团公司第四十八研究所

3、哈尔滨工业大学田日才教授

4、中国电子科技集团第四十九研究所

5、共建创新载体，目前哈尔滨工业大学已经对接王琮教授合作，共同解决上述问题。

处理进度

科创中国