行业领域

新一代信息技术产业,信息传输、软件和信息技术服务业

需求背景

针对国际前沿的碳化硅产业，我国实施了大力度的政策支持，“十四五”规划指出，要加强科技前沿领域攻关，在集成电路领域，要重点推进碳化硅、氮化镓等宽禁带半导体发展。新基建、“碳达峰、碳中和”的政策与规划密集推出，碳化硅半导体材料和器件应用于清洁能源领域，如光伏、风电等，以及提升能源使用效率领域，如直流特高压输电、新能源汽车、轨道交通等将对实现“碳达峰、碳中和”，起到至关重要的作用。因此加快实施碳化硅单晶衬底产业化技术攻关，解决保定市高效、低成本、大规模碳化硅单晶衬底产业化技术难题，具有重要意义。

需解决的主要技术难题

本项目旨在针对碳化硅单晶衬底生产过程，贯穿碳化硅多晶粉料合成、单晶生长、衬底加工、晶片检测全流程，涉及到4大工艺、100多道工序、300多台（套）设备，结合碳化硅数字化生产周期的管理技术和方法，实现对粉料、晶体、晶片、

批次等，与设备、耗材、消耗部件等生产物资的数据采集和有效集成，可追溯可关联，并提供与现有管理系统的数据接口，通过数据的采集与解析、处理与存储、分析与应用，建设有梯次的数据库。项目研究形成连续化、协同化、一体化的碳化硅单晶衬底数字化生产管控系统平台，从而实现生产资源的有效监控、制造过程全透明化管理和基于数据的生产资源的最优化配置，为企业由研发型向生产型转型提供重要支撑。

期望实现的主要技术目标

实现对关键生产设备晶体生长炉、衬底加工设备、品质检测设备的100%数据采集，实现碳化硅单晶衬底生产流转全过程物流数据的100%记录追踪；构建基于实时数据采集的数字化管控平台，实现基于全面实时数据的人、物料、设备等生产资源调度优化，相对于系统实施前，生产物流转运效率提升40%以上，缩短在制品生产周期10%以上；提供与现有管理系统的数据接口，达到对粉料、晶体、晶片、批次等，与设备、耗材、消耗部件等生产物资可追溯可关联的目标，实现品质管控贯穿碳化硅单晶衬底生产全流程，大幅提升产品良品率。

处理进度