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行业领域

新材料产业,制造业

需求背景

用新型高功率脉冲复合磁控溅射技术制备MoS2-Ti复合膜,并研究不同Ti掺杂含量对MoS2复合膜结构和性能的影响.结果表明:利用高功率脉冲磁控溅射技术掺杂Ti使MoS2薄膜向致密结构生长;Ti在薄膜表层与O结合形成氧化物有效抑制MoS2的氧化;复合膜硬度在一定Ti含量范围内出现最大值;掺杂少量Ti改善了纯MoS2在潮湿大气环境下的摩擦磨损性能.

需解决的主要技术难题

轴承内外圈滚道溅射MoS2基多层复合膜（MoS2-4),其它部位不镀膜，膜厚1～2μm;膜厚均匀度优于20%，产品表面无碰伤、划痕、锈蚀等现象； （2）轴承镀膜时，需保证原配套编号不混淆，并在镀膜后保留明显标注编号；（3）镀膜的结合强度要好，对样块做划痕试验，MoS2-4膜临界负荷Lc不小于10N； （4）膜层能承受振动、冲击、加速度短时过载，能满足第***款中的试验条件； （5）其余要求按照GJB3032-97《溅射二硫化钼基自润滑固体薄膜

期望实现的主要技术目标

轴承内外圈滚道溅射MoS2基多层复合膜（MoS2-4),其它部位不镀膜，膜厚1～2μm;膜厚均匀度优于20%，产品表面无碰伤、划痕、锈蚀等现象； （2）轴承镀膜时，需保证原配套编号不混淆，并在镀膜后保留明显标注编号；（3）镀膜的结合强度要好，对样块做划痕试验，MoS2-4膜临界负荷Lc不小于10N； （4）膜层能承受振动、冲击、加速度短时过载，能满足第***款中的试验条件； （5）其余要求按照GJB3032-97《溅射二硫化钼基自润滑固体薄膜

处理进度