科创中国

行业领域

高端装备制造产业,制造业

需求背景

1. 需求解决的技术问题

在3C行业中，为了解决光阻材料的图案化印刷问题，多采用喷涂后进行曝光显影的技术方案，但是，由于喷涂工艺需要高压气流，在实际生产过程中会造成严重的空气污染，同时，喷涂为全面积涂布，再经过曝光显影去除非图案区域的油墨，材料利用率很低。而喷墨打印技术作为一种数字化的图案印刷手段，可以直接输出最终的印刷图案，无需二次的曝光显影，且材料利用率能达到95%以上，喷墨打印采用微压电技术将油墨按需喷涂，无气雾污染，环境友好。因此，开发适用于3C行业的光阻喷墨打印技术，对于产品生产过程中的技术升级具有重大的实际价值。

2. 技术需求提出背景及技术应用领域

国内对喷墨打印技术的研究始于 21世纪初，起步较晚。近年来，虽然一些国内企业在喷墨打印头设备上取得了较大的进展，但在工业应用领域的喷墨打印方案仍被少数国外企业所垄断，因此，研发出具有自主知识产权的适用于全自动化的喷墨打印设备具有重大意义。不仅可以实现3C行业中的产线升级，实现真正的环保生产，还可以打破国外的专利壁垒，实现电子行业中重大设备的国产化。

需解决的主要技术难题

3.技术难点

由于3C行业中基于玻璃制品的曲面化已越来越成为主流，而传统的印刷方式在曲面印刷中都受到限制，喷墨打印虽然在2.5D玻璃上印刷具有较好的效果，但是，在3D曲面玻璃表面印刷会因为墨滴高低差问题影响印刷精度。因此，喷墨打印在曲面印刷时提高印刷的边缘锐利度问题成为行业应用时的主要难题。

期望实现的主要技术目标

4.主要技术经济指标

（1）印刷后的光阻涂层OD值大于4.0；

（2）图案边缘精度误差不大于30um；

（3）实地区域无针眼、缩孔、团聚、露白等表面缺陷；

（4）涂层厚度均匀，不大于10um，表面平整度要求不大于***um；

（5）阻层表面达因值在35～45mN/m之间；

处理进度