LTCC高品质制备技术

LTCC 技术是无源集成的主流技术和发展方向，已广泛应用于航空航天雷达微波组件、测控元 件、电感、片式天线等领域。LTCC 技术的关键是生瓷带，其性能直接影响电子器件的使用性和可 靠性。我国 LTCC 材料长期依赖进口，迫切需要批次稳定、供应可靠的自主 LTCC 材料。因此，开 展 LTCC 高品质制备关键技术的系统研究、满足配套保障需求、推动自主 LTCC 材料的实用化是微 电子产业发展的必然要求。 中国建材总院基于特种玻璃、粉体和浆料领域的长期技术积累，在国家级项目支持下开展了 耐高过载 LTCC 瓷粉制备和生瓷带流延工作。通过系统化的基础研究和技术探索，突破了 LTCC 用 玻璃高品质熔制与瓷粉后处理、瓷浆配方与生瓷带工程化流延、生瓷带收缩率精确控制等关键技 术，在 LTCC 用基础玻璃、瓷粉和生瓷带的批量、稳定制备方面积累了丰富的工程化经验；制备出 关键性能指标满足应用需求的生瓷及配套 LTCC 产品，形成了自有知识产权的高频、高精度、高集 成封装用 LTCC 生瓷带及配套技术。