高端离子源及离子束微纳加工装备的研制及产业化技术

离子源及离子束装备相关技术的开发有较高的技术壁垒和行业壁垒，涉及物理学、光学工程、 控制工程、软件工程、机械工程、信息工程、电气工程、自动化等多个学科和行业领域，完整的 团队组合非常困难。博顿光电拥有独立完成离子源核心部件和离子束装备的开发、设计、生产、 销售等工作能力，在离子源、离子束装备、光学器件及工艺、物联网、智能控制等技术方面有较 强的技术储备和人才储备，已形成素质优良、结构合理、专业齐备、效能显著的研究开发团队。 1. 采用射频驱动方式的离子源技术：实现中空阴极中和器和射频中和器等高端中和器的开发，使 用周期从传统的 10 小时提升到 1000 小时以上；具有高能量、无污染、工作环境不受限等特点。 2. 能量与束流可调可控的高能离子源：实现离子束流与能量可独立灵活控制的离子源装置， 实现离子束加工系统的高均匀性。 3. 基于宽光谱的实时成膜工艺监控技术：通过实时光谱来测量和调整器件的光谱指标，控制 精度从传统的 2%~5% 降至 0.1%~0.3%，解决传统光学器件精度差和工艺不易控制的难题。 4. 器件工艺 + 装备一体化 / 全流程工艺开发设计理念：以光学器件的产业化为切入点，实现高端 光学器件的一体化制备，使用全国产化的设备和工艺实现国外同类设备上可达成的工艺指标水准。 5. 引入物联网技术、智能控制和机器学习等技术：通过引入物联网技术、智能控制和机器学 习等技术实现设备的智能化、远程化和自动化等功能，开发软硬件全国产化的离子束薄膜沉积装 备，储存、识别、优化镀膜工艺流程，对光学器件的生产过程进行检测、分析、反馈、标记等， 实现对产品的自动分类，提高生产效率。