高精度光栅制造技术

衍射光栅是一种具有周期性微结构的特种光学元件，在光谱分析、空天探测、光刻机、超精 密加工、激光器、天文观测、生物医疗等诸多领域均有重要应用。衍射光栅制造技术是当今世界 最为精密的加工技术之一，只有极少数国家有能力从事此项技术。 高精度光栅制造技术突破了光栅刻划机超精密部件原位检测研磨，重载荷、长行程分度系统 的纳米精度定位，新型柔性驱动双气浮导轨约束式闭环控制等技术难题，研制出世界上综合技术 指标最高的大型高精度光栅刻划机。提出了光栅理论设计与制造工艺融合共促的方法，突破了光 栅性能指标实时监测技术、光栅刻线密度倍频调整技术，实现了光栅制造工艺的高可控性，成功 研制出了世界上最大面积的中阶梯光栅及系列高端光栅产品。高精度光栅制造技术的突破终结了 高精度光栅应用全部依赖进口的历史，促进了光栅技术领域整体性和系统性技术进步，有力支撑 了我国大型光学系统、DUV 光刻机、深空探测等国家重大任务顺利实施，促进了国产光谱分析、精 密测量等行业摆脱“有器无心”局面，增强国产仪器装备的核心竞争力。