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为了克服已有谐振陀螺单晶硅微半环凹模无法实现高形状精度、低表面粗糙度、高表面质量、高效率加工的不足,本发明提供了一种高形状精度、低表面粗糙度、高表面质量、高效率的微半环凹模阵列化学-机械分级复合制造方法。

一种微半环凹模阵列化学‑机械分级复合制造方法，包括如下步骤：1)制作精密球阵列研抛模；2)第一级研抛：采用精密球阵列研抛模，通过化学‑机械加工方法实现微凹模阵列的形状构型；3)第二级研抛：采用所述精密球阵列研抛模进行第二次研抛，通过调整超声振动的参数和Z向进给参数，使得工件的材料去除形式转变为材料塑性去除，降低研抛液中HNA溶液的浓度，减缓HNA溶液对功能材料的化学腐蚀速度；第二次研抛材料去除形式是微细超声振动下的材料塑性去除和HNA溶液对衬底材料的缓慢化学腐蚀作用，可以对微凹模进行修形和表面质量提升。本发明的加工效果:高形状精度、低表面粗糙度、高表面质量、高效率。

微纳制造领域 - 微纳器件和微机电系统（MEMS）方面

微纳传感器制造：这种制造方法可以用于制造微纳传感器的关键部件。例如，在压力传感器的制造中，微半环凹模阵列可以作为敏感元件的模具，通过化学 - 机械分级复合制造，得到具有高精度、高灵敏度的压力传感器。这些传感器可应用于汽车轮胎压力监测、工业过程压力监控等领域。

微机电系统（MEMS）器件制造：在 MEMS 陀螺仪、加速度计等惯性器件的制造中，微半环凹模阵列可以帮助制造出具有复杂微结构的器件。通过精确的化学 - 机械复合工艺，提高器件的性能和可靠性。这些 MEMS 器件在航空航天、消费电子等领域有广泛的应用，如智能手机中的姿态感知、无人机的飞行控制等。

材料科学与工程 - 微纳材料成型和表面微纳结构制造方面

微纳材料成型：对于一些新型微纳材料（如微纳金属材料、高分子微纳材料等）的成型，该制造方法提供了一种新的途径。通过微半环凹模阵列，可以制备出具有特殊形状和性能的微纳材料。例如，在微纳金属材料的制备中，可以得到具有高比表面积、良好导电性的微纳结构材料，应用于电池电极、催化剂载体等领域。

表面微纳结构制造：在材料表面工程中，制造表面微纳结构可以改善材料的表面性能。利用微半环凹模阵列化学 - 机械分级复合制造方法，可以在材料表面制备出具有规则排列的微纳结构，如微纳凹槽、微纳凸起等。这些表面微纳结构可以用于改善材料的光学性能（如抗反射）、摩擦性能（如减摩）等，应用于光学镜片、机械零件等众多领域。

浙江工业大学是东部沿海地区第一所省部共建高校、首批国家“高等学校创新能力提升计划”（2011计划）协同创新中心牵头高校和浙江省首批重点建设高校，坐落于中国历史文化名城、风景旅游胜地杭州。学校坚持立德树人根本任务，以拔尖创新人才为引领、高级应用型人才为主体、复合型人才为特色，大力培养德智体美劳全面发展，富有家国情怀、国际视野、创新精神和实践能力的行业精英和领军人才。

不同点只是需要更换研抛模和研抛液，可大幅提升微半环凹模的加工效率，保证微凹模圆周半径的一致性和不同凹模之间几何形状的一致性，通过第二级材料塑性去除和HNA溶液对工件衬底材料化学去除作用的协同机械-化学复合研抛方式，可以提高微凹模阵列的形状精度和表面质量。

本发明的有益效果主要表现在：高形状精度、低表面粗糙度、高表面质量、高效率。

技术转让，许可，合作所需资金需双方协商，此项技术想尽快落地，希望具备此项技术研发的技术方，能够尽快承接此项目。