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双束电镜分析及微纳加工在新材料中的应用与研 究

成果类型:: 发明专利,实用新型专利

发布时间: 2023-11-30 15:28:28

科技成果产业化落地方案
方案提交机构:广东省广州市| 柯锐鹏 | 2024-01-15 22:48:02
本项目利用多种先进的电子显微技术手段研究新 材料的微观结构与化学组成,并结合制备方法与工 艺流程进行调控,探索提高材料性能以满足应用需 求的途径。通过对材料微观结构与相变的动态表征 和识别,深入理解材料在微观尺度的基本规律,为 新材料与新工艺技术的研发提供理论基础和技术 支撑。项目服务于集成电路、IC 电路板、PCB 电路 板、高温合金、高温陶瓷、高强钢、形状记忆合金、 铝合金等领域,服务的对象广泛 FIB 检测表征,微 纳加工制样,APT 检测表征及数据分析。
通过自建双束聚焦离子束电子显微镜(FIB-SEM) 第 2 页 共 16 页 实验室,为企业提供高精尖的失效分析、样品制备 和数据分析,通过高分辨率表征方法为企业提供新 材料技术创新应用基础研究的解决方案,填补了国 内新材料分析研究服务的市场空白,通过尖端的设 备和研究分析技术,帮助企业突破卡脖子的技术壁 垒。
  1. 表面形貌观察:双束电镜可以通过SEM模式对新材料的表面形貌进行高分辨率观察,包括表面粗糙度、晶粒大小和分布等信息。这些信息对于材料加工、涂层和界面性能的研究非常重要。

  2. 内部结构分析:双束电镜可以通过TEM模式对新材料的内部结构进行分析,包括晶体结构、晶体缺陷、相变和纳米结构等。这些信息对于理解材料的物理、化学和力学性质至关重要。

  3. 化学成分分析:双束电镜可以配备能谱仪或能量色散X射线光谱仪,用于对新材料的化学成分进行定性和定量分析。这对于材料的组成和相变分析非常重要。

  4. 微纳加工应用:双束电镜可以通过聚焦离子束(FIB)技术对新材料进行精密的微纳加工,包括样品切割、形貌修整、探针制备和局部离子蚀刻等。这些技术在微器件制备、纳米材料研究和集成电路领域有广泛的应用。

综上所述,双束电镜在新材料的应用市场中具有巨大的潜力和广阔的前景。它可以提供全方位的材料表征和分析能力,对于新材料的开发、性能优化和工程应用具有重要的指导作用。随着材料科学的不断发展,双束电镜将在新材料领域扮演更加关键的角色。

项目负责人: 倪释凌,华南理工大学材料加工工程博士,拥有多 年材料领域研究经验和创办企业经验。发表代表性 论文 8 篇,授权发明专利 2 项、实用新型专利 2 项, 申请发明专利 4 项。主持、重点参与“广东省自然 科学基金”、“新金属材料国家重点实验室开放基 金”、“国家金属材料近净成形工程技术研究中心” 等知名科学基金项目
  1. 提高研发效率:双束电镜可以提供高分辨率的表面形貌观察和内部结构分析,使研究人员能够更快速地了解材料的特性和行为。这有助于加快新材料的研发过程,节约时间和资源。

  2. 改进材料设计:通过双束电镜的化学成分分析功能,研究人员可以对新材料的组成进行精确的定量和定性分析。这有助于优化材料的配方和设计,提高其性能和功能。

  3. 深入理解材料性质:双束电镜可以提供对新材料内部结构的详细分析,包括晶体结构、晶体缺陷和纳米结构等。这有助于深入理解材料的物理、化学和力学性质,为材料的改进和创新提供指导。

  4. 提升产品质量:通过双束电镜的微纳加工应用,可以实现对新材料的精密加工和修整,以满足产品的特定要求。这有助于提高产品的质量和性能,并增加竞争力。

  5. 推动产业发展:双束电镜技术的应用,特别是在微纳加工领域,可以促进新材料相关行业的发展。它为制造业、能源领域、生物医药和电子信息等行业提供了更多创新和应用的可能性。

总体而言,双束电镜在新材料应用市场中的应用,可以显著提高研发效率,改善材料设计,深入理解材料性质,提升产品质量,并推动相关产业的发展。这将为新材料研究和应用带来广阔的前景和经济效益。

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