X射线直接探测器及其制备方法
成果类型:: 发明专利
发布时间: 2023-11-08 17:06:27
医学影像学: 用于X射线透视、CT扫描等医学影像学应用。
工业检测: 用于工业领域的无损检测,如焊缝检测、材料缺陷检测等。
安全检查: 用于安全检查和安全筛查,例如机场安检中的行李检测。
科学研究: 用于科学实验中的X射线研究,如晶体学、材料科学等领域。
中国科学院深圳先进技术研究院提升了粤港地区及我国先进制造业和现代服务业的自主创新能力,推动我国自主知识产权新工业的建立,成为国际一流的工业研究院。 深圳先进院目前已初步构建了以科研为主的集科研、教育、产业、资本为一体的微型协同创新生AC态系统,由九个研究平台,国科大深圳先进技术学院,多个特色产业育成基地、多支产业发展基金、多个具有独立法人资质的新型专业科研机构等组成。开展先进技术研究,促进科技发展。信息、电子、通讯技术研究新材料、新能源技术研究高性能计算、自动化、精密机械研究生物医学与医疗仪器研究相关学历教育、博士后培养与学术交流。
选择敏感材料: 选择具有较高X射线敏感性的材料,常用的有硒化铟(InSe)、硒化铟镉(CdIn2Se4)、硒化铟锌(InZnSe)等。
材料预处理: 对选定的敏感材料进行预处理,包括粉末的制备、材料表面的清洁处理等,以确保材料的纯度和稳定性。
制备敏感薄膜: 将敏感材料制备成薄膜形式,通常采用物理气相沉积(PVD)或化学气相沉积(CVD)等薄膜制备技术,使敏感薄膜能够覆盖整个探测器的感光区域。
电极制备: 在敏感薄膜上制备电极,用于收集由X射线引起的电子或电洞。
添加掺杂剂: 在敏感薄膜中适量添加掺杂剂,以调控材料的电子结构,提高X射线的敏感性。
封装: 将敏感薄膜和电极封装在透明、绝缘的材料中,以防止外界干扰和保护敏感部分。
信号读取系统: 配备相应的电子学和信号读取系统,用于从探测器中读取并放大X射线引起的电信号。
性能测试: 对制备好的X射线直接探测器进行性能测试,包括灵敏度、分辨率、响应时间等参数的检测。
技术转让
在制备过程中,需要严格控制材料的制备条件、薄膜的均匀性和电极的导电性能,以确保X射线直接探测器具有良好的性能和稳定性。X射线直接探测器是用于直接探测X射线并将其转化为电信号的装置,常用于医学影像学、工业检测等领域。