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碳化硅超精密气浮平台制造流程 烘干一0烧结 提纯一0造粒 用氢氟酸提纯 使得碳化硅原料达到999的纯度 进行造粒 压制成型 用硅胶和不锈钢铸成的模具将50微米的造粒粉压制成型 在200摄氏度的风箱中烘干后，在2200摄氏度的碳化硅无压烧结炉中高温烧结成型 加工 先用CNC加工中心调整精度再用手工方式进行精加工 组装 将加工完成的零部件配合光 栅尺与电机进行组装

在2200摄氏度的碳化硅无压烧结炉中高温烧结成型 加工 先用CNC加工中心调整精度再用手工方式进行精加工 组装 将加工完成的零部件配合光 栅尺与电机进行组装

碳化硅气浮 精度保证 直线度重复精度反向被隙 高度运动响应 50 ~ 300nm 平 50 ~ 300nm 50 300nm 快

成员 职位 简介 负责部分 曹博士 精密运动学家 尹博士 材料学家 陈然平 前ASML机械设计师 专业领域: 应用化学、有机化学、纳米材料 曾为罗尔斯罗伊斯、空中客车、波音、通用公司等设计柔性流水线和加工零件所需夹具。 专业领域: 材料工学、陶瓷材料、复合材料 曾任职于中国科学院上海有机化学研究所 研究员，总工程师，国家特聘专家，中组部千人计划，享受国务院特殊津贴 参与过德国WVILO水泵控制器部分设计，荷兰ASML WSPA电源部分散热设计及气密检测、气动治具设计等。 擅长高硬纳米材料的湿法制备氧化钦、氧化铁等多种无机材料等纳米分散 蔡达彦 前ASML测试开发工程师 为Asml dcdc 方向模块设计自动化测试程序 车辆电子模块tcu ptu 功能测试 privan农业用系统模块测试维护升级 SDS ECU 取力控制器功能测试 NG2250 AET-FT 设计ASML PADC GDS1 phase out 零部件结构设计与生产组烂 用氢氟酸对原材料进行提纯，机床及多种自动化检测设 电机驱动控模块以及控制器保证原材料达到99.9%的纯度。备设计 (机械部分)精度优化开发，电机选型

融资计划2000-3000w 后续发展1.零部件 (吸盘、导轨)生 (上微电子，华卓精科) 2.机台生产供给(上海睿励，中科飞测)融资计划2000-3000w 后续发展1.零部件 (吸盘、导轨)生 (上微电子，华卓精科) 2.机台生产供给(上海睿励，中科飞测)

寻求合伙融资机会,寻求优良的创新创业环境,寻求政府政策支持