科创中国

1. 高真空加压组件,可实现高真空环境 精准升温加压 ， 能够有效防止加工过程中 非晶合金材料的氧化。 2. 双腔体温控组件 在设备内部可实现 加工件向非加工腔体的快速转移 ， 实现快 速冷却 ， 防止非晶合金材料发生晶化。 3.设备控制程序与操作软件完全自主研 发 ，人机交互界面一 目了然 ，操作方便 ， 控制精确稳定。

微纳加工制造是半导体芯片，高端传 感器、光学元器件和生物医药等领域的基 础，也是中国制造2025等国家政策重点支 持的技术发展方向。目前的微纳加工制造 主 要集中在硅基半导体材料上，但是如何在金 属材料上实现纳米尺度的可控、高效，大 面积加工是全球微纳加工领域的难题。 微芯科技团队成员以非晶合金作为加 工原材料，基于非晶合金的独特性质，研发 了新型非晶合金微纳制造成型装备及相应 的热力耦合成型技术，填补了非晶合金微纳 制造关键装备上的空白，

目前已经在非晶合 金上实现纳米-微米-宏观多尺度精密结构 的可控、高效制备。发展了非晶合金微纳模 芯在光学元件、生物医疗等领域的典型应用

深圳大学机电与控制工程学院团队

BTB

目的

寻求合伙融资机会