一种4H‑SiC窄带紫外光电探测器
成果类型:: 发明专利
发布时间: 2023-10-12 09:07:47
本发明属于紫外光电探测技术领域,具体涉及一种4H‑SiC窄带紫外光电探测器,包括自上而下依次设置的顶电极层、半导体层和底电极层,所述半导体层为4H‑SiC基底,顶电极层为TiN制成的半透明金属电极;底电极层为不透光金属电极。本发明利用器件在不同波长光照射下产生的光电导差,实现了15nm窄带紫外响应性能,而且,器件的亮暗电流比和响应度均优于现有技术中的探测器。
本发明克服现有技术存在的不足,所要解决的技术问题为:提供一种具有高亮暗电流比的4H-SiC窄带紫外光电探测器,以获得具有高亮暗电流比的窄带响应紫外光电探测性能。
本发明直接在半绝缘型4H-SiC基底的正反两侧,分别制作半透明顶电极与不透光底电极,最终获得了一种具有高亮暗电流比的4H-SiC窄带紫外光电探测器。所实现的SiC紫外光电探测器在紫外光照下具有窄带响应特性,具有极低的暗电流密度以及高的亮暗电流比,在手机、智能家居、可穿戴电子产品等领域具有光明的应用前景。
为加快产学研一体化发展,2019年12月,兴县经济技术开发区与太原理工大学签署了全面合作协议,成立了兴县铝镁新材料研发有限公司,为开发区内企业提供项目论证、新技术研发、传统产业升级、科技成果转化、铝镁材料深加工技术攻关等全方位服务。 截至目前,铝镁新材料产业园区铝产业入驻企业7户,投产5户;签约引进5个铝镁新材料产业项目,总投资16.3亿元。其中,包头一禾稀土铝业10万吨铝合金杆延伸5万吨合金铝导线项目、上海正岸物资贸易有限公司5万吨铸造铝合金及配套铸件项目、河北亚泰电力金具有限公司8万吨铝电力金具项目等3个入驻标准化厂房的项目已投产;华兴铝业氧化铝产能2016年已达到200万吨。
目前已报道的4H-SiC紫外光电探测器的响应带宽较宽,不具有波长选择功能。垂直结构光电探测器的优势还在于:可分别对两端电极进行特殊设计,为器件性能提升提高了更高的灵活度;可通过简单的横纵电极交叉制得面阵器件。本发明探寻出一种低成本、高性能的垂直金属-半导体-金属型4H-SiC窄带紫外光电探测器。
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