科创中国

随着微电子、精密仪器、光伏能源等领域的飞速发展，针对半导体芯片、精密零部件、太阳能电池、锂电池等器件中涉及微小缺陷（<100μm）无损检测的需求日益增长。基于微焦点X射线的无损检测成像，因为波长短、穿透力强、准直度高等特点，被认为是解决上述问题的重要技术路线。现有微焦点X射线成像技术存在检测速度慢等缺点，且主要被国外企业垄断。通过设计加工新型基于碳纳米材料冷阴极的X射线源并整合脉冲探测成像系统，我们研制出一套具有自主知识产权的基于冷阴极 X光源的微焦点实时无损检测系统。

1. 一种多孔石墨烯薄膜场发射阴极 201410373851.0 2. 一种利用类金刚石薄膜提高碳纳米管场发射性能的方法 201410373870.3 3. 直孔通道平面式场发射三极结构 1005963404. 基于石墨烯的场发射三极结构 202275794U5. 基于场发射冷阴极的阵列X射线源 202142495U

高端检测机每台在30万-50万元，国内需求量在5000台以上(15亿以上)；标准检测机每台在10万元左右，国内需求量在10000台以上(10 亿以上)。

国家纳米中心现有3个中国科学院重点实验室，分别是中国科学院纳米生物效应与安全性重点实验室、中国科学院纳米标准与检测重点实验室和中国科学院纳米系统与多级次制造重点实验室，涵盖了纳米器件、纳米材料、纳米生物效应与安全性、纳米表征、纳米标准、纳米制造与应用基础等6个研究室。纳米中心于2018年后成立了理论室、纳米加工实验室及智能传感室，此外还建有一个雾霾健康效应与防护北京市重点实验室和两个北京市工程中心（北京市纳米生物医学检测工程技术研究中心、北京市纳米材料工程技术研究中心等）,北京市科普基地、北京市纳米材料研发国际合作基地、国家纳米材料研发国际科技合作示范基地。纳米中心设有纳米技术发展部，建有纳米检测、纳米加工和纳米生物技术3个技术支撑平台，1个发展研究中心，是全国纳米技术标准化技术委员会（SAC/TC279）、中国合格评定国家认可委员会（CNAS）实验室技术委员会纳米专业委员会、中国微米纳米技术学会纳米科学技术分会的挂靠单位，纳米科技产业技术创新战略联盟理事长单位。纳米中心与英国皇家化学会联合主办的英文期刊《Nanoscale》受到国内外学界的广泛关注。

高端检测机每台在30万-50万元，国内需求量在5000台以上(15亿以上)；标准检测机每台在10万元左右，国内需求量在10000台以上(10 亿以上)。

技术转让；合作研发。