高纯氧化铈抛光液
成果类型:: 发明专利
发布时间: 2023-09-27 15:46:20
氧化铈抛光液是以微米或亚微米级CeO2为磨料的氧化铈研磨液,该研磨液具有分散性好、粒度细、粒度分布均匀、硬度适中等特点。适用于宝石,高精密光学仪器,光学镜头,集成电路等方面的精密抛光。以期打破精密仪器的抛光依赖进口的局面。
氧化铈抛光液是以微米或亚微米级CeO2为磨料的氧化铈研磨液,该研磨液具有分散性好、粒度细、粒度分布均匀、硬度适中等特点。适用于宝石,高精密光学仪器,光学镜头,集成电路等方面的精密抛光。以期打破精密仪器的抛光依赖进口的局面。
目前国际上微电子器件的精密抛光大多为国外公司所垄断,虽然抛光精度高,但成本也很高,发展国内自主知识产权的抛光技术被提上议事日程。纳米级氧化铈抛光液的研发,使替代国外产品成为可能,存在巨大的市场空间。
国家纳米中心现有3个中国科学院重点实验室,分别是中国科学院纳米生物效应与安全性重点实验室、中国科学院纳米标准与检测重点实验室和中国科学院纳米系统与多级次制造重点实验室,涵盖了纳米器件、纳米材料、纳米生物效应与安全性、纳米表征、纳米标准、纳米制造与应用基础等6个研究室。纳米中心于2018年后成立了理论室、纳米加工实验室及智能传感室,此外还建有一个雾霾健康效应与防护北京市重点实验室和两个北京市工程中心(北京市纳米生物医学检测工程技术研究中心、北京市纳米材料工程技术研究中心等),北京市科普基地、北京市纳米材料研发国际合作基地、国家纳米材料研发国际科技合作示范基地。纳米中心设有纳米技术发展部,建有纳米检测、纳米加工和纳米生物技术3个技术支撑平台,1个发展研究中心,是全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC279)、中国合格评定国家认可委员会(CNAS)实验室技术委员会纳米专业委员会、中国微米纳米技术学会纳米科学技术分会的挂靠单位,纳米科技产业技术创新战略联盟理事长单位。纳米中心与英国皇家化学会联合主办的英文期刊《Nanoscale》受到国内外学界的广泛关注
目前国际上微电子器件的精密抛光大多为国外公司所垄断,虽然抛光精度高,但成本也很高,发展国内自主知识产权的抛光技术被提上议事日程。纳米级氧化铈抛光液的研发,使替代国外产品成为可能,存在巨大的市场空间。
技术转让;合作研发。