高分辨半导体显示器件及装备
成果类型:: 发明专利
发布时间: 2023-09-15 16:30:40
高精细图案化技术是实现平板显示产业向高分辨率、大开口率、高性能特性、柔性显示等高新技术关键技术。结合本单位开发的柔性显示电子级PI材料及制备技术,已推广应用于柔性显示屏的开发,以及高分辨医用平板探测器研发。由上海大学联合上海微电子装备(集团)股份有限公司,协同研发出 200*200mm型高精细平板显示用光刻机,解决了对位Mark 图形算法、对位 Mark 机器识别、柔性 TFT 基板翘曲对位等关键技术难题,实现了曝光精度2um、套刻精度±0.5um的技术能力,为高精细平板显示用光刻机装备开发奠定技术基础;由上海大学联合上海奕瑞光电子科技股份有限公司,协同研发出基于氧化物半导体技术的高分辨医用平板探测器,掌握了医用平板探测技术高分辨制备核心工艺与技术。
自主开发用于平板显示高分辨率柔性显示光刻工艺及装备,以及高分辨医用平板探测器工艺协同开发:(1)柔性基板光刻装备开发,解决柔性基板翘曲引入的对位误差、离焦等工艺缺陷;(2)柔性高分辨技术,基于平板显示高分辨率柔性显示光刻装备,开发高分辨、高对位精度图形化;(3)高分辨膜层技术,可开发特殊膜层下高分辨膜层工艺;(4)氧化物半导体层工艺开发与应用,提升平板探测的分辨率及探测精度。
高分辨显示技术是未来主要的显示技术之一,更高分辨率技术可扩展显示技术在AR/VR、智能医疗、远程会议、智慧显示终端、新材料高分辨制备等多领域得到广泛的应用,具有十分广阔的应用前景。 优先使用的产业领域为:智能手机终端、新材料高分辨项目研发、智能医疗、AR/VR等;优先使用的地方区域为:日常生活环境、研发机构、医院、娱乐设施等。
上海大学微电子学院于2019年11月成立,与张江实验室、中科院上海分院、嘉定区,和以上海微技术工业研究院、华虹集团、上汽集团、上海微电子装备(集团)、上海集成电路研发中心等为代表的集成电路及应用关键企业合作共建。学院立足上海集成电路“一体两翼”布局的嘉定翼,致力于通过产教融合、科教融合和学科交叉融合,建成准工业化、国际化的国际一流微电子学院,面向国民经济主战场,培养具有家国情怀、全面发展、卓越创新的集成电路行业紧缺人才,服务国家重大战略需求。
高分辨半导体显示器件提升了用户对高质量视觉体验的需求。对于高分辨率、高色彩还原度的需求不断增加,从而推动了市场对于高分辨半导体显示器件的需求扩大。 高分辨半导体显示器件的应用可以提升产品的竞争力。无论是研发机构、医院、娱乐设施等,采用高分辨半导体显示器件可以提供更清晰、更生动的图像和视频效果,从而吸引更多消费群体。 本项目的研发和应用能够很好的推动行业进步。在追求更高分辨率、更高刷新率、更宽色域等方面的竞争中,相关技术不断创新和改进,推动了整个半导体显示器件行业的发展,并带动了相关领域的技术创新。
本项目意向转化方式为技术转让等方式,具体面议。目前高分辨显示技术已逐步应用于AR/VR、高分辨显示手机终端、智能医疗、科学研究等领域,已不断影响及改变了人们日常生活习惯,让生产、生活更加的便捷,让医疗诊断更加安全、精确;高分辨显示技术在科学研究领域的应用,促进了新材料、新工艺、新结构的开发与应用,也促进了精准医疗领域的发展,从而进一步促进新兴技术产业的形成与发展。