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电阻法助力大尺寸碳化硅晶体生长研发及产业化

成果类型:: 新技术

发布时间: 2023-08-11 16:24:25

科技成果产业化落地方案
方案提交机构:“科创中国”中关村产业技术联盟专业科技服务团| 张伟强 | 2023-09-15 11:21:32

本项目2020年在昆山开发区建立了中试基地,建设了20台6英寸电阻法晶体生长设备,为国内首条该技术的中试生产线,于2021年底完成中试任务。截止当前,累计销售6英寸电阻法晶体生长设备超500台,占国内该类似型号设备约90%份额。累计销售额将近10亿元。2023年5月成功研发出8英寸的电阻法晶体生长设备与工艺,在国内电阻法设备领域内处于领先位置。

本项目基于6英寸碳化硅单晶生长装备及配套工艺积累了大量的经验,在此基础上,通过电阻法工艺,开发更大尺寸碳化硅单晶生长炉,同时开发与之相匹配的长晶工艺,提高长晶效率,降低生长成本,助力我国第三代半导体单晶材料的飞速发展。

本项目主要应用于:新能源汽车、轨道交通、工业互联网、特高压、充电桩、风力发电、光伏等。

本项目核心人员有研发副总陈建明博士,专注于人工晶体生长设备与工艺的研发,人工晶体的规模化量产;Alexander Kraus 硕士现担任研发部经理;耿安东硕士高级研发工程师,专注于材料科学等。公司现授权发明核心专利6项、实用新型10项,在审发明专利2项、PCT专利1项等。

本项目电阻法碳化硅单晶生长炉的研发,并且成功实现从4英寸向6英寸碳化硅晶体的成功扩径,具备大量电阻法碳化硅单晶生长炉及工艺开发的经验。目前已经成功开发6英寸碳化硅电阻炉装备及配套生长工艺并形成大批量销售,形成专利10余项,营收近10亿。

本项目融资需求1000万元,主要用于产品线的研发和生产。