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智能半导体气体传感器

成果类型:: 发明专利,新技术

发布时间: 2023-08-10 11:54:11

科技成果产业化落地方案
方案提交机构:成果发布人| 关志涛 | 2023-08-10 11:54:11

香港科技大学范教授联合创立艾感科技(广东)有限公司,在十几年的研究成果基础上拟开发新型气体传感器,打破美欧日的垄断,实现中高端气体传感器的自主知识产权国产化。

(一). 三维气体纳米传感器的制备高灵敏度:基于高比表面积的三维多孔阳极金属氧化物基底,大大提高了单位体积内气敏材料与待测气体的接触面积,同时利用气体分子在纳米尺度孔内的克努森扩散,实现气体分子与气敏材料的充分碰撞与接触,实现室温或近室温下超高的灵敏度。低功耗:与传统金属氧化物气体传感器相比,无需保持较高的工作温度,从而大幅降低加热器的功耗。(二). 高效的集成化微型加热板高集成度:微型加热板直接集成在三维气体纳米传感器的背面,降低了工艺复杂度超低热损耗:利用微纳加工技术,大幅缩小微型加热器的面积,同时由于金属氧化物具有较高的热传导率且远远高于周围的空气,可将热量集中于气敏传感区域,减少了热耗散。(三). 传感器阵列的高度集成高传感器密度:通过在单块多孔纳米基底上沉积不同的金属氧化物、进行多种金属颗粒的修饰或采用不同功函数的金属电极,可快速制备有差异性的传感器像素,并实现单基底上的阵列封装。

环境监测、气体监测、

团队名称:半导体气体传感器创新团队团队介绍:团队核心成员由香港科技大学、合肥工业大学及中国科学技术大学等高校的教授和校友组成,目前有员工19人,包括教授2人,博士研究生4人,硕士研究生4,本科以上学历占全公司 78% 以上。

在十几年的研究成果基础上拟开发新型气体传感器,打破美欧日的垄断,实现中高端气体传感器的自主知识产权国产化。

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