一种内置肖特基接触超势垒二极管的功率金属氧化物半导体场效应晶体管
成果类型:: 发明专利,实用新型专利
发布时间: 2023-07-14 19:59:55
本发明公开一种内置肖特基接触超势垒二极管的功率金属氧化物半导体场效应晶体管,包括源极金属层(1)、重掺杂第一导电类型虚拟栅多晶硅层(2)、重掺杂第一导电类型栅极多晶硅层(3)、氧化层(4)、第二导电类型阳极区域(5)、第二导电类型栅极体区域(6)、重掺杂第一导电类型栅极接触区域(7)、第一导电类型传导区域(8)、轻掺杂第一导电类型漂移区(9)、重掺杂第一导电类型衬底层(10)、漏极金属层(11);
本发明改善了器件的反向恢复特性,相较于内置超势垒二极管的功率金属氧化物半导体场效应晶体管,本发明的反向恢复时间更短、反向恢复电流峰值更小。
本发明公开一种内置肖特基接触超势垒二极管的功率金属氧化物半导体场效应晶体管,包括源极金属层(1)、重掺杂第一导电类型虚拟栅多晶硅层(2)、重掺杂第一导电类型栅极多晶硅层(3)、
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改善了器件的反向恢复特性,相较于内置超势垒二极管的功率金属氧化物半导体场效应晶体管,本发明的反向恢复时间更短、反向恢复电流峰值更小。
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