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本实用新型提供了一种用于片材双面沉积涂层的夹具及沉积装置，涉及涂层沉积辅助设备技术领域。该用于片材双面沉积涂层的夹具包括夹具本体和第一驱动件；夹具本体包括用于固定片材的固定件以及与固定件连接的第二驱动件，第二驱动件能够随第一驱动件转动，从而带动片材翻转。本实用新型的夹具利用磁电感应力或磁力等作用力在不开炉情况下实现片材的翻转，在不改变炉子现有结构的前提下实现了片材双面涂层的连续沉积，使用该夹具双面沉积涂层效率高、成本低且易于实施。本实用新型还提供一种沉积装置，包括炉体，上述夹具的夹具本体位于炉体内，第一驱动件位于炉体外，该沉积装置适用于对片材双面进行连续的涂层沉积，效率高，生产周期短。

(1)本实用新型提供的用于片材双面沉积涂层的夹具包括夹具本体和第一驱动件；夹具本体包括用于固定片材的固定件以及与固定件连接的第二驱动件，第二驱动件能够随第一驱动件转动，从而带动片材翻转。使用时，将片材用固定件固定，夹具本体置于沉积装置炉体内(例如使夹具本体的第二驱动件靠近炉子的观察孔处)，第二驱动件位于沉积装置炉体外，利用电磁感应力或者磁力等作用力使炉外的第一驱动件能够控制炉内的第二驱动件转动，进而第二驱动件带动固定件，从而带动片材实现翻转。 (2)本实用新型提供的沉积装置，包括炉体，上述用于片材双面沉积涂层的夹具的夹具本体位于炉体内，第一驱动件位于炉体外。鉴于上述用于片材双面沉积涂层的夹具所具有的优势，使得使用本实用新型夹具的沉积装置也同时具有上述夹具的所有优势，使用该沉积装置能够对片材进行双面连续沉积，沉积效率高、生产周期短。

在热丝气相沉积法制备涂层工艺中，例如制备金刚石涂层工艺中，有时需要在片材的双面沉积金刚石薄膜。目前并没有专门针对双面沉积涂层的沉积设备，受限于现有设备的结构，往往一次只能在片材正对热丝和气源的一面沉积上涂层，而另一面由于活性物质无法到达而不能沉积上涂层。

针对这一问题，现有技术一般采取以下手段：

在炉子设计的初期或后期改造使气路丝炉子的结构更适用于片材双面沉积，即上下都进气，虽然这种结构的炉子能够满足片材双面沉积涂层的要求，但这种改造后的炉子一般就只能用作生产双面涂层的片材，不能再去生产只需一面沉积的产品(例如铣刀)，降低了炉子的适用性，而且采用此种方式需要改变炉子现有结构，成本高、复杂不易于实施。

发明人:唐永炳;陈波;杨扬;王陶 联系方式:0755-86392458 中国科学院深圳先进技术研究院提升了粤港地区及我国先进制造业和现代服务业的自主创新能力，推动我国自主知识产权新工业的建立，成为国际一流的工业研究院。 深圳先进院目前已初步构建了以科研为主的集科研、教育、产业、资本为一体的微型协同创新生态系统，由九个研究平台，国科大深圳先进技术学院，多个特色产业育成基地、多支产业发展基金、多个具有独立法人资质的新型专业科研机构等组成。开展先进技术研究，促进科技发展。信息、电子、通讯技术研究新材料、新能源技术研究高性能计算、自动化、精密机械研究生物医学与医疗仪器研究相关学历教育、博士后培养与学术交流。

本实用新型的夹具结构简单，在不改变炉体结构、使用过程中不开炉的情况下使炉内的片材翻转，片材的一面沉积涂层后可连续向另一面沉积涂层，省去了重新关炉和开炉的工作，操作简单，提高了生产效率、降低了生产周期以及提高了炉子的使用寿命。使用本实用新型的夹具实现了片材双面涂层的连续沉积，能够更好地满足片材双面沉积涂层的要求，生产效率高、成本低且易于实施。本实用新型提供的沉积装置，包括炉体，上述用于片材双面沉积涂层的夹具的夹具本体位于炉体内，第一驱动件位于炉体外。鉴于上述用于片材双面沉积涂层的夹具所具有的优势，使得使用本实用新型夹具的沉积装置也同时具有上述夹具的所有优势，使用该沉积装置能够对片材进行双面连续沉积，沉积效率高、生产周期短。

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鉴于上述用于片材双面沉积涂层的夹具所具有的优势，使得使用本实用新型夹具的沉积装置也同时具有上述夹具的所有优势，使用该沉积装置能够对片材进行双面连续沉积，沉积效率高、生产周期短。

最后应说明的是：以上各实施方式仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施方式对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施方式所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施方式技术方案的范围。