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本发明适用于真空镀膜技术领域，公开了一种辐射式蒸发加热器及该辐射式蒸发加热器的制造方法。辐射式蒸发加热器包括加热室、蒸发皿和电源连接器件，蒸发皿连接于加热室或与加热室一体成型，加热室具有加热腔，加热腔与蒸发皿之间相隔开，加热腔内设置有通过辐射对蒸发皿进行加热的加热器件，加热器件连接于电源连接器件。制造方法用于制造上述的辐射式蒸发加热器。本发明所提供的辐射式蒸发加热器及该辐射式蒸发加热器的制造方法，其克服了现有蒸发加热装置与蒸发材料同处一室造成的加热丝损耗及薄膜污染等问题，使真空蒸发技术应用领域更加广泛；蒸镀薄膜纯度大幅提高；具有真空镀膜效果佳、成本低、更换、清洁方便等优点。

一种辐射式蒸发加热器的制造方法，其特征在于，用于制造辐射式蒸发加热器，所述辐射式蒸发加热器包括加热室、蒸发皿和电源连接器件，所述蒸发皿连接于所述加热室或与所述加热室一体成型，所述加热室具有加热腔，所述加热腔与所述蒸发皿之间相隔开，所述加热腔内设置有通过辐射对所述蒸发皿进行加热的加热器件，所述加热器件连接于所述电源连接器件；所述加热器件包括加热支架和加热丝，所述加热丝连接于加热支架，所述电源连接器件连接于所述加热支架，所述辐射式蒸发加热器的制造方法包括以下步骤，制备石英管、加热丝、加热支架、导电连接片和电源套，对石英管加热至软化，采用模具将软化的石英管成型蒸发皿和加热室，采用点焊的方式将加热丝焊接于加热支架形成加热器件，采用点焊的方式将导电连接片焊接于所述加热支架，对加热室进行抽真空并充入纯碘，将加热室与蒸发皿采用烧结的方式连接成型；将电源套连接于导电连接片外侧。

真空镀膜技术中，真空蒸发沉积薄膜具有简单便利、操作容易、成膜速度、效率高 等特点，是薄膜制备中最为广泛使用的技术。其工作过程是:首先使用真空机组对高真空蒸 发室进行抽真空，当真空度达到指标后启动蒸发加热装置，利用电流在电阻丝或箔片蒸发 器产生高温，对蒸发物质提供足够的热量以获得蒸发必需的蒸气压，在适当的温度下，蒸发 粒子在基片上凝结，实现真空蒸发薄膜沉积。

中国科学院深圳先进技术研究院提升了粤港地区及我国先进制造业和现代服务业的自主创新能力，推动我国自主知识产权新工业的建立，成为国际一流的工业研究院。 深圳先进院目前已初步构建了以科研为主的集科研、教育、产业、资本为一体的微型协同创新生态系统，由九个研究平台，国科大深圳先进技术学院，多个特色产业育成基地、多支产业发展基金、多个具有独立法人资质的新型专业科研机构等组成。开展先进技术研究，促进科技发展。信息、电子、通讯技术研究新材料、新能源技术研究高性能计算、自动化、精密机械研究生物医学与医疗仪器研究相关学历教育、博士后培养与学术交流。

本发明所提供的辐射式蒸发加热器及该辐射式蒸发加热器的制造方法，其所述加 热腔与所述蒸发皿之间相隔开，加热丝可以与蒸发材料隔离开，不仅拓宽了用途，避免了加 热丝损耗，还保证了蒸镀薄膜质量，克服了现有蒸发加热装置与蒸发材料同处一室造成的 加热丝损耗及薄膜污染等问题。采用辐射式蒸发加热器后，使真空蒸发技术应用领域更加 广泛;蒸镀薄膜纯度大幅提高;具有真空镀膜效果佳、成本低、更换、清洁方便等优点

技术合作

本发明实施例所提供的辐射式蒸发加热器及该辐射式蒸发加热器的制造方法，其 克服了现有蒸发加热装置与蒸发材料同处一室造成的加热丝3损耗及薄膜污染等问题，通 过将加热丝3与蒸发材料隔离开，不仅拓宽了用途，避免了加热丝3损耗，还保证了蒸镀薄膜 质量。结构由开放式改变为封闭式;热传递方式由热传导改变为热福射，使热效率得到更大 提高。电源连接器件6可由钼片外加不锈钢套制成的电源套组成，通过钼片与加热支架4连 接;加热丝3可以由钨丝绕制，加热室2里可以充进纯碘以保护加热丝3;蒸发皿1直接烧制在 加热室2顶部，以增强热利用效率。

[0043]以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精 神和原则之内所作的任何修改、等同替换或改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。