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本发明提供一种真空镀膜设备的检测系统，所述检测系统包括控制装置和检测装置，所述检测装置包括摄像头和驱动结构，所述摄像头与所述驱动结构连接，所述控制装置包括控制单元，所述摄像头用于对所述真空镀膜设备的内部进行拍摄，所述控制单元用于控制所述驱动结构驱动所述摄像头移动。本发明提供的真空镀膜设备的检测系统，所述控制单元可以控制所述驱动结构驱动所述摄像头移动，所述摄像头移动可以对所述真空镀膜设备的内部的各个细节进行拍摄，从而在真空环境中便可以实现对真空镀膜设备的内部进行检测，避免真空镀膜设备的内部暴露在大气环境中。

一种真空镀膜设备的检测系统，其特征在于，包括控制装置和检测装置，所述检测装置包括摄像头和驱动结构，所述摄像头与所述驱动结构连接，所述控制装置包括控制单元，所述摄像头用于对所述真空镀膜设备的内部进行拍摄，所述控制单元用于控制所述驱动结构驱动所述摄像头移动，所述检测装置还包括底座，所述驱动结构包括推进杆和推进电机，所述推进电机固定于所述底座上，所述推进杆一端与所述推进电机连接、一端与所述摄像头连接，所述驱动结构还包括设置于所述底座内的第一齿轮、第二齿轮和旋转电机，所述第一齿轮与所述推进电机连接，所述第二齿轮与所述旋转电机连接，所述第一齿轮与所述第二齿轮相互齿合。

由于现代科技发展的要求，真空镀膜技术得到了飞速的发展。薄膜技术可以改变工件表面性能，提高工件耐磨损、抗氧化和耐腐蚀等性能，从而延长工件的使用寿命。薄膜技术也可以实现光学、电学、半导体薄膜器件的制备，具有很高的经济价值。

现有的真空镀膜设备按照其生产特点可以分为两大类，分别是流水线式真空镀膜设备和单体式真空镀膜设备。其中，流水线式设备因为其可以连续化生产，效率高，被广泛的使用。在不断地生产过程中，流水线式真空镀膜设备不可避免的会出现很多问题，有些问题在设备内部，无法被观测，通常需要将真空设备暴露在大气环境中，逐点检查，对于过大的设备，检测消耗的时间会更长，而对于真空设备来说，应尽量避免其内部在大气中所处的时间。

中国科学院深圳先进技术研究院提升了粤港地区及我国先进制造业和现代服务业的自主创新能力，推动我国自主知识产权新工业的建立，成为国际一流的工业研究院。 深圳先进院目前已初步构建了以科研为主的集科研、教育、产业、资本为一体的微型协同创新生态系统，由九个研究平台，国科大深圳先进技术学院，多个特色产业育成基地、多支产业发展基金、多个具有独立法人资质的新型专业科研机构等组成。开展先进技术研究，促进科技发展。信息、电子、通讯技术研究新材料、新能源技术研究高性能计算、自动化、精密机械研究生物医学与医疗仪器研究相关学历教育、博士后培养与学术交流。

本发明提供的真空镀膜设备的检测系统，其包括控制装置和检测装置，所述检测装置包括摄像头和驱动结构，所述控制装置包括控制单元，所述控制单元可以控制所述驱动结构驱动所述摄像头移动，所述摄像头移动可以对所述真空镀膜设备的内部的各个细节进行拍摄，从而在真空环境中便可以实现对真空镀膜设备的内部进行检测，避免真空镀膜设备的内部暴露在大气环境中。

技术合作

本实施例提供的检测系统能够在真空环境中对真空镀膜设备的内部进行检测，避免真空镀膜设备的内部暴露在大气环境中。此外，本实施例提供的检测系统还能够在高温环境中对真空镀膜设备的内部进行检测。

以上所述仅是本申请的具体实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本申请的保护范围。