本发明提供了一种平面化电极结构的立体硅磁敏三极管及其制作工艺方法,该结构包括SOI器件硅层内引线、SiO2介质隔离环和磁敏感区等,通过器件硅层内引线将发射极E从器件硅层的下表面引至器件硅层的上表面,使基极B、集电极C和发射极E均位于器件硅层的上表面,同时通过SiO2介质隔离环进行内引线区和磁敏感区的隔离,抑制内引线区杂质横向扩散对磁敏感区的影响。
磁敏三极管主要应用于磁场测量,因其优异的灵敏度、稳定性以及低温漂的优点,在地磁勘测、机械检测、电子罗盘等领域具有重要作用。
立体结构磁敏三极管,即在SOI器件硅层中具有立体结构的磁敏三极管,其中基区和集电区位于SOI器件硅层上表面,发射区位于SOI器件硅层下表面,与SiO2绝缘层交界。立体硅磁敏三极管具有磁灵敏度高、温度系数低等优异特性,但由于芯片结构立体化的原因,在制作发射极时需采用背电极制作工艺,该工艺需要对器件硅层的下表面进行刻蚀和离子注入,可控性较低,对器件的灵敏度、准确度和良品率等产生较大的影响,尤其封装对磁敏特性产生影响,给立体硅磁敏三极管的集成化、小型化和批量化造成了阻碍。
为突破背电极制造工艺的技术瓶颈,需设计一种立体硅磁敏三极管的平面化电极结构,降低器件制造过程中背电极制造工艺难度,使得器件具有更优异的一致性和准确度。
HTK铁路移动装备综合视频监控系统是铁路综合视频监控系统的重要组成部分,该系统集成嵌入式计算机技术、网络技术、通讯技术以及音视频编解码技术,针对铁路移动装备独有的高低温、振动、多类型电源等特殊条件,开发的一套专业化、高性能的综合视频监控系统。
该系统能实现对机车、调车、客运车辆、发电车、轨道车、生活车等铁路移动装备的主要安全卡控部位进行视频监控,同时配备烟感、温感等报警设备,形成完整的铁路移动装备视频监控信息,便于专业技术人员掌握移动装备在运行中的安全状态。
黑龙江大学(Heilongjiang University),位于黑龙江省哈尔滨市,是黑龙江省人民政府和中华人民共和国教育部、国家国防科技工业局共建的省属综合性大学,黑龙江省“双一流”建设国内一流大学A类高校,入选国家卓越法律人才教育培养计划、中西部高校基础能力建设工程、特色重点学科项目、国家建设高水平大学公派研究生项目、中国政府奖学金来华留学生接收院校、全国深化创新创业教育改革示范高校、教育部来华留学示范基地,是世界翻译教育联盟、中俄新闻教育高校联盟、中俄综合性大学联盟、上海合作组织大学、“一带一路”智库合作联盟成员单位
黑龙江省化工研究院承担的哈尔滨市科技局重大攻关项目《HPS新型生态修复材料制备》已通过市科技局组织的专家鉴定。该项目通过双螺杆挤出机进行改性,通过添加用化学辐射方法制造的低分子量的三元乙烯丙烯共聚物、自行制备的抗氧剂、耐生物腐蚀剂等;合金相容剂的选择:极性分子单元含量对界面相互作用的影响,使合金树脂熔点峰值降低,确保拉丝成型的工艺技术要求,同时合金树脂在分子表征上体现出分子界面模糊,分子链相互渗透缠绕,聚合物相域缩小的特性。具有较强的创新性;采用增加2~3区侧喂料形式的共混挤出工艺。使材料性能均达到了预期的技术指标,已申请发明专利3项。制备的HPS新型生态修复材料配方和工艺合理、先进。研制的HPS新型生态修复材料主要性能指标达到了国内先进水平。
表:新型生态修复材料的技术指标
测定项目 指标
拉伸强度,MPa ≥ 24
热老化(150℃,1000小时加速老化)拉伸强度保持率,% ≥ 80
光老化(紫外光照射,1000小时加速老化)拉伸强度保持率,% ≥ 80
环境性能(60℃,湿度50%,1000小时)拉伸强度保持率,% ≥ 85
技术转让、合同、入股均可,具体资金双方协商,希望尽快落地实现产业化。