科创中国

本项目将研发基于气浴温控为核心方案的超稳定微环境 控制系统产品。 与传统洁净室方案相比，超稳定微环境控制系统是在小区域内建 立高等级微环境，可以实现更高控制指标的同时大幅节省成本。 与恒温水循环温控方案相比，本方案可以节约 50%的成本，更适 用于对如光刻机等外形结构复杂的设备进行温度控制，也可适应更大 的热负荷。

传统的精密温控方案大多采用恒温水浴技术，其核心装置 TCU 模块价格高昂，一个 TCU 模块的售价通常高达 30-40 万，本项目采用 气浴温控技术，相较于恒温水浴技术，可以节约 50%的成本。同时由 于光刻实验平台的外形结构复杂，不同区域的温度精度要求不一且若 跟液体直接接触带来的危害过大，最佳的环境温度控制方式即为气浴 方式：向指定区域吹出恒定温度且气流稳定的气体来实现温度的控制。

本项目的成功开展有益于促进我国半导体行业配套设备水平的整体提升。本项目基于光刻机的微环境控制为出发点，还可应用于半导体前道设备中的扫描光刻机和各种用途的刻蚀机等设备的精密温度控制，也可应用于精密光学仪器、精密机床制造及各种科学实验场所。对于高精度微环境控制产品的研发和产业化，可基本结束我国集成电路行业关键设备的精密微环境控制系统大多依赖进口的局面，不仅能满足高端光刻机对精密微环境控制系统的需求，也将为刻蚀机、涂胶显影机等其他集成电路设备提供配套设备。另外，精密微环境控 制系统产品是高新技术产品，它既能满集成电路装备和工艺的需求。还适用于制药工程、医疗卫生、石油化工、国防军工、航空航天、环境科学、现代农业、电子电器和计量检定等行业的需要，能替代进口并带动这些领域的技术进步，降低这些企业的能耗，整体提升我国在高精度微环境控制系统领域的技术水平，具备较好的应用前景。

微点悦科技（重庆）有限责任公司成立于2021-04-29，法定代表人为彭登辉，注册资本为100万元人民币，统一社会信用代码为91500118MAABPDP49D，企业地址位于重庆市永川区中山路街道昌州大道东段801号重庆水利电力职业技术学院大学生创业园3楼323号，所属行业为软件和信息技术服务业，经营范围包含：一般项目:消防器材销售;消防技术服务;安全、消防用金属制品制造;大数据服务;信息技术咨询服务;软件开发;软件销售;计算机软硬件及辅助设备批发;计算机软硬件及辅助设备零售;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;信息系统集成服务;广告设计、代理;广告制作;平面设计;广告发布(非广播电台、电视台、报刊出版单位);票务代理服务;组织文化艺术交流活动;会议及展览服务;旅游开发项目策划咨询;信息咨询服务(不含许可类信息咨询服务);互联网销售(除销售需要许可的商品);数据处理和存储支持服务;市场营销策划;商务秘书服务;企业管理咨询。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)。微点悦科技（重庆）有限责任公司目前的经营状态为存续(在营、开业、在册)。

该项目实施周期内，预计可以在 2-3 家目标客户中取得应用， 每套设备售价约为 120 万，可为公司带来 300 万左右的收入。在实现 产品化后，预计可以每年销售 5 套左右，可为公司每年带来 600 万左右的收入。

公司在精密设备所需的微环境控制领域，已进行多年研究。该项目成功实施后，将进一步鼓舞公司在该领域的深耕，同时该产品在市场上的成功也将打响公司在行业的知名度，有益于公司与目标客户寻 求更多的合作。我们将根据客户的实际需求，有此项目的成功实施为 基础，公司将进一步加大对于该领域的研发投入，同时寻求更多目标客户企业，开发出更多的先进性产品。

本项目产生出的专利已经通过技术转让合同转让给武汉微环控技术有限公司，目前该公司已凭借该技术实现超过1000余万元的销售收入。