科创中国

本发明提供了一种增强聚酰亚胺基底和金属层之间的粘附力的方法，所述方法是通过在聚酰亚胺薄膜表面构筑微纳结构，使得聚酰亚胺薄膜与金属导电层之间的粘附力得到很大提高，在后续的工艺中聚酰亚胺基底和Ti/Pt金属导电层之间不易剥离脱落，保证了微电极阵列的长期有效稳定植入。 一种增强聚酰亚胺基底和导电金属层之间 的粘附力的方法，所述方法是在聚酰亚胺薄膜表面沉积金属之前将所述聚酰亚胺薄膜表面 制成绒毛状的聚酰亚胺纳米结构。

一种增强聚酰亚胺基底和导电金属层之间的粘附力的方法，其特征在于，所述方法是在聚酰亚胺薄膜表面沉积金属之前将所述聚酰亚胺薄膜表面制成绒毛状的聚酰亚胺纳米结构；所述方法包括以下步骤：(1)在硅片上生成聚酰亚胺薄膜；(2)将所述步骤(1)中聚酰亚胺薄膜的表面制成绒毛状的聚酰亚胺纳米结构，通过在聚酰亚胺薄膜表面构筑微纳结构的方法增强聚酰亚胺薄膜比表面积，进而增强聚酰亚胺基底和导电金属层之间的粘附力；(3)在所述步骤(2)中得到的聚酰亚胺薄膜表面沉积金属，在所述聚酰亚胺薄膜表面形成导电金属层。

近年来，人造视网膜已经成为目前的研宄热点之一。植入式微电极阵列作为人造 视网膜的关键部件之一，其植入的长期、有效、稳定性是重中之重。聚酰亚胺基底和Ti/Pt导电金属层之间的粘附力直接影响着微电极阵列的长期有 效稳定植入。聚酰亚胺材料表面能低、粘结性能差，很难与金属层形成强有力的粘附。目前，业界改善高分子层与金属层之间粘附力的普遍方法是采用表面化学处理或 表面等离子体处理，但是这些方法获得的粘附力不足以应对植入式微电极阵列的植入要 求。

中国科学院深圳先进技术研究院提升了粤港地区及我国先进制造业和现代服务业的自主创新能力，推动我国自主知识产权新工业的建立，成为国际一流的工业研究院。 深圳先进院目前已初步构建了以科研为主的集科研、教育、产业、资本为一体的微型协同创新生态系统，由九个研究平台，国科大深圳先进技术学院，多个特色产业育成基地、多支产业发展基金、多个具有独立法人资质的新型专业科研机构等组成。开展先进技术研究，促进科技发展。信息、电子、通讯技术研究新材料、新能源技术研究高性能计算、自动化、精密机械研究生物医学与医疗仪器研究相关学历教育、博士后培养与学术交流。

本发明的有益效果在于:本发明提供了一种增强聚酰亚胺基底和金属层之间的粘 附力的方法，通过在聚酰亚胺薄膜表面构筑微纳结构，使得聚酰亚胺薄膜与金属导电层之间的粘附力得到很大提高，在后续的工艺中聚酰亚胺基底和Ti/Pt金属导电层之间不易剥 离脱落，保证了微电极阵列的长期有效稳定植入。本实施例方法得到的微电极阵列中的聚酰亚胺表面有微纳结构， 现有普通方法得到的微电极阵列中的聚酰亚胺表面无微纳结构，将两者经过相同条件的电 镀处理后，从图2中可以明显看到，聚酰亚胺表面无微纳结构的电极金属层在电镀后会部分 脱落，而有微纳结构的电极机械稳定性非常好，说明通过在聚酰亚胺薄膜表面构筑微纳结 构，能够使得聚酰亚胺薄膜与金属导电层之间的粘附力得到很大提高，在后续的工艺中聚 酰亚胺基底和Ti/Pt金属导电层之间不易剥离脱落。

技术合作

最后所应当说明的是，以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非对本发明保 护范围的限制，尽管参照较佳实施例对本发明作了详细说明，本领域的普通技术人员应当 理解，可以对本发明的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本发明技术方案的实质 和范围。