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关键尺寸量测设备(Critical Dimension Scanning Electron Microscope,简称CD-SEM)，通过对电子束显微图像进行关键尺寸量测，实现关键工艺参数的监控，是芯片制造过程中质量控制的关键设备。关键尺寸量测设备（型号：SEpA-c410）面向300mm硅片工艺制程，通过先进的电子束成像系统和高速硅片传输方案，搭配精准的量测算法，可实现高重复精度、高分辨率及高产能的关键尺寸量测。进驻中芯国际后，将通过实际产线验证，进一步提升、完善设备性能，向产业化目标整体迈进。

东方晶源自成立以来，专注于芯片制造关键环节的良率控制和提升领域。在北京市经信委、亦庄管委会、合作伙伴和投资方的共同支持下，不断取得重要产品技术突破，公司旗下计算光刻系列软件（OPC）、电子束缺陷检测设备（EBI）均已经过国际大厂产线验证并实现订单收入，在国产化设备领域取得了瞩目的成绩。此次出机，东方晶源在良率控制产品线添加了至关重要的一环，也解决了我国在芯片制造领域中又一项“卡脖子”难题。中芯国际与东方晶源作为各自领域的优秀代表，进一步加强了战略合作关系，是半导体产业链上下游产研与应用合作的典范。

东方晶源在北京总部隆重举行国内首台关键尺寸量测设备（CD-SEM）出机仪式，正式宣布斩获订单并出机中芯国际。此次出机仪式，标志着东方晶源继2019年攻克电子束缺陷检测技术后，再一次取得重大产品技术突破，填补了国产关键尺寸量测设备（CD-SEM）的市场空白。

作为高新技术企业，人才是根本。东方晶源研发人员占比近70%，8%拥有博士学位，53%拥有硕士学位。其中，北京市海聚2人，亦麒麟人才3人。核心成员拥有美国硅谷、日本和欧洲等世界一流半导体科技公司的产品研发和管理经验。

中芯国际是世界领先的集成电路晶圆代工企业之一，也是中国内地技术最先进、配套最完善、规模最大的集成电路制造企业集团，提供0.35微米到14纳米不同技术节点的晶圆代工与技术服务，在先进制程探索、设备多元化方面等方面走在行业前列。东方晶源继首台电子束缺陷检测设备进驻中芯国际产线后，首台关键尺寸量测设备能够进入中芯国际12英寸产线验证，说明其研发实力已获得行业高度认可，对我国集成电路制造自主可控具有重大意义。

融资需求1000万元人民币，主要用于CD-SEM设备的优化和研发，技术团队的补充和建设，市场的营销、公司的运营以及资金周转等其他事宜。