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全氟丁二烯是最新一代的激光刻蚀剂 ，未来有更广阔的市场前景 ，年产20吨的工厂即可以获得可观的经济效益。预计项 目总投资2000万元。每年生产全氟丁二烯20吨，每公斤全氟丁二烯生产成本约 1000元人民币，市场价格为2000-2500元/公斤 ，以每公斤全氟丁二烯的税前利润达1000-1500元人民币，整个项目的税前利润达2000-3000万元 ，具有极高的经济效益。

1采用废旧聚四氟乙烯作为原料具有很好的环保意义。 2 中间体α,ω-二碘全氟烷烃系列产物可作为单独的产品进行生产 ，通过官能团转换反应α,ω-二碘全氟烷烃及它与乙烯调聚产物可以合成几十种含氟和全氟化合物。 应用范围 ：全氟丁二烯 （C F ）是新一代等离子刻蚀剂 ，是世界公认的最好的线宽达到90nm以下的新一代等离子刻蚀剂 ，目前已达到工业规模应用阶段。

干法刻蚀是利用射频电源使反应气体生成反应活性高的离子和电 子，对硅片进行物理轰击及化学反应，以选择性的去除我们需要去除的区域。被刻蚀的物质变成挥发性的气体，经抽气系统抽离，最后按照设计图形要求刻蚀出我们需要实现的深度。全氟丁二烯又称六氟-1,3-丁二烯，它是一种化工中间体，其分子式为C4F6，分子量为162.0332。可用于最新一代的干式激光刻蚀剂。该物质可以实现各向异性，垂直方向的刻蚀速率远大于侧向的特性，广泛用于下一代蚀刻机技术

天津大学浙江研究院，坐落于宁波市镇海区中官西路85号 ，是一所由浙江省人民政府与天津大学战略合作指导 ，由天津大学、宁波市政府及宁波市镇海区共建的新型高水平研究机构 ，为省级新型研发机构 ，被纳入省级科研平台管理。 研究院发展将主要结合宁波市 “246”万千亿产业集群发展布局 ，瞄准石油化工高端化学品制造、清洁能源、化工新材料、以及绿色化工安全生产工艺等领域前言发展方向合引领行业发展变革的关键技术 ，依托天津大学 “精馏技术国家工程研究中心”、“国家科技部重点领域创新团队”、“绿色合成与转化教育部重点实验室”等国字号研发力量与化工学科优势 ，设立 “能源化工研究中心”、 “化工新材料研究中心”、“绿色化工技术研究中心”、“化工安全与环保研究中心”等四大研发创新中心 ，培育国家级创新平台 ，并开展相关专业的高层次人才培养、前沿创新研究、关键技术开发及产业孵化工作。

该项目生产的全氟丁二烯 （C F ）是新一代等离子刻蚀剂 ，是世界公认的最好的线宽达到90nm以下的新一代等离子刻蚀剂 ，目前已达到工业规模应用阶段。可以有效解决湿式蚀刻发需花费较高成本的反应溶液及去离子水； 化学药品处理时人员所遭遇的安全问题；光刻胶掩膜附着性问题；气泡形成及化学腐蚀液无法完全与晶片表面接触所造成的不完全及不均匀的刻蚀，等一系列问题，具有安全、便捷、可靠、高效的特点。

本项目可以采用技术转让、技术合作等多种形式进行对接，欢迎有需求的企业单位联系洽谈。