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新一代高分辨干膜光刻胶

成果类型:: 发明专利

发布时间: 2022-10-10 09:13:16

科技成果产业化落地方案
方案提交机构:“科创中国”华中科技大学智能制造专业科技服务团| 王正伦 | 2022-10-27 10:55:40
传统干膜光刻胶主要组分中,占80%以上的碱溶性树脂是丙烯酸和丙烯酸酯共聚物,作为非光敏性组分,与可聚合单体、光引发剂和助剂溶解涂膜。在曝光时,曝光区域发生交联聚合变得不溶不熔。在显影液中,曝光区域交联聚合物不被溶解,而碱溶性树脂和未曝光区域的预聚体在碱液中被中和成羧酸盐而被溶解,从而形成光刻图案。一个致命问题在于不论曝光区域还是未曝光区域,作为非光敏性组分的碱溶性树脂都被溶解,造成留膜率大幅下降,不仅降低原料的有效利用率,造成资源浪费和环境污染,而且显著降低曝光膜质量、边缘粗糙度和分辨率。 为了解决这一技术难题,减少碱溶性树脂的溶解,降低非光敏性组分的消耗和原料成本,我们合成一类可以进行化学改性的碱溶性基体树脂,让曝光区域碱溶性树脂也能参与曝光时的交联聚合,消除曝光区域碱溶性树脂的溶解。

根据传统的光膜光刻胶配方,可聚合单体主要包括丙烯酸及其酯。为了让碱溶性树脂最大程度地参与交联聚合,我们对合成的碱溶性树脂进行乙烯基改性,使树脂分子量上带上大量的可聚合基团。在曝光时,碱溶性树脂分子链上的乙烯基不仅可以自交联,还可以和大量丙烯酸及丙烯酸酯发生共聚交联,形成不被显影液溶解的交联聚合物膜。

主要优势:

1)最大限度地原材料利用率,把原本作为非光敏性的碱溶性树脂这一纯粹伪模板作为可聚合交联的光刻胶,节省了原有干膜光刻胶中非光活性的碱溶性树脂消耗。

(2)这类干膜光刻胶具有很大的可塑性,可以调节不同的玻璃化温度、力学强度、耐热性、附着性,以适应不同的应用需求。

应用领域:国内PCB下游应用市场中,通信电子占据了35%的市场份额。其次是汽车电子和消费电子,占比分别为16%和15%,近年来5G基站建设、汽车电子和消费电子都会保持较高的景气度,使感光干膜需求加速放量。

应用场景:3C电子电路板、显示面板等。

华中科技大学(Huazhong University of Science and Technology),简称华中大、华科大 ,位于湖北省武汉市,是中华人民共和国教育部直属的综合性研究型全国重点大学、位列国家“双一流”、“985工程"、"211工程"、入选"强基计划"、"111计划"、卓越工程师教育培养计划、卓越医生教育培养计划、国家大学生创新性实验计划、国家级大学生创新创业训练计划、国家建设高水平大学公派研究生项目、国家级新工科研究与实践项目、基础学科拔尖学生培养计划2.0,是学位授权自主审核单位、全国深化创新创业教育改革示范高校、一流网络安全学院建设示范项目高校、中国政府奖学金来华留学生接收院校、教育部来华留学示范基地,为中欧工程教育平台成员和医学“双一流”建设联盟、国际应用科技开发协作网、全球能源互联网大学联盟成员。

针对现有PCB及显示面板所需光刻胶产业化为基础,逐步实现新一代高分辨干膜光刻胶产品迭代、国产替代和市场化,力求实现兼顾社会利益与经济利益企业运营模式。通过对当前中国社会和市场对于PCB行业特别是通讯电子、汽车电子、消费电子和医疗器械产业相关技术的需求分析,展示出了高分辨干膜光刻胶项目的战略意义与市场价值。干膜光刻胶技术应用范围广阔,前景光明,预估全球潜在市场规模可达百亿美元。本项目推广达产后,有望创造上亿元的销售规模。

可通过专利转让、技术开发、技术入股等方式进行成果转化