多自由度精密位移平台
成果类型:: 发明专利,实用新型专利,著作权
发布时间: 2022-08-30 09:22:23
多自由度精密位移平台由压电马达驱动,包含传感器、驱动器和控制器等部件,是精密仪器运动控制系统的核心部分,也是精密加工设备、医疗设备、微电子制造检测设备、测量仪器、印刷设备、生物医疗设备、自动化生产线的关键组件。其压电马达具有高分辨率、小尺寸、低能耗等特点,其运动控制部分采用先进的EtherCAT(通用超高速以太网现场总线)方案,使系统不仅更简洁、更灵活,还具有更好的实时性
压电马达具有高分辨率、小尺寸、低能耗等特点,运动控制部分采用先进的EtherCAT(通用超高速以太网现场总线)方案,使系统不仅更简洁、更灵活,还具有更好的实时性。
本项目产品主要针对医疗设备、精密测量设备和微纳米加工市场,可应用于高端微电子装备、精密仪器仪表、计算机、工业控制系统、航空航天、智能机器人等领域。主要客户为光学,电子显微镜制造商,DNA、细胞及组织检测设备制造商,纳米材料研究及生产单位。
本项目申请了多项专利,其中2项发明专利和6项实用新型专利已经授权,申请了2项软件著作权。寻求产业化合作。
合作开发,技术转让、技术入股。