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高性能晶圆级铁电/压电薄膜制备关键技术及产业化

成果类型: 实用新型专利,新品种
发布时间: 2022-10-09 13:26:04
科技成果产业化落地方案
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成果发布人 2022-10-09 13:26:04 查看详情