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高端半导体光刻胶专用高洁净容器

发布时间: 2024-11-02

来源: 科技服务团

基本信息

合作方式: 技术咨询
成果类型: 发明专利
行业领域:
新材料技术,无机非金属材料
成果介绍
光刻胶必须在高洁净容器中保存,以避免光刻胶在存放过程过程中金属离子和微小颗粒数增加,导致质量不合 格。光刻胶在运输保存过程中应避免日光曝晒,以免光刻胶受到紫外线的影响,导致质量不合格。高洁净容器满足光 刻胶必须在低温恒温条件密封运输的要求,以避免光刻胶受到温度、空气中的杂质及水分影响,导致质量不合格。
成果亮点
高端半导体光刻胶专用高洁净容器是半导体制造领域的一项重要技术创新。该容器采用先进的洁净技术和专用性设计,确保光刻胶在存储和运输过程中免受污染,保持其高性能和稳定性。 其成果亮点主要体现在以下几个方面:首先,高洁净度设计使得容器内部达到极高的洁净度标准,有效防止光刻胶与空气或其他污染物接触,延长其保质期和使用寿命。其次,专用性设计针对光刻胶的特性进行优化,包括尺寸、形状和密封性能等方面,确保光刻胶的安全性和稳定性。 此外,高洁净容器具有优异的密封性能、耐热性和耐腐蚀性,能够在极端环境下保持容器的完整性和稳定性,进一步保障光刻胶的性能。这一技术的应用不仅提升了半导体制造的效率,还有助于推动半导体产业的发展,为行业注入新的活力。 同时,高洁净容器还具备广阔的市场前景和应用领域。除了半导体制造领域外,它还可应用于生物医药、精密仪器等需要高洁净度环境的领域,为这些领域提供可靠的保障。
团队介绍
国科温州研究院以基础科研创新推动科技成果孵化转化,重点开展医用生物材料、智能医疗装备、生物医学物理、转化医学与精准医学等具有重大临床应用前景的研究,着力建设具有国际先进水平的“材、药、械、医”一体化的创新中心和科技成果转移转化中心。与多名院士达成合作意向,并从哈佛大学、剑桥大学等引进众多优秀科研人员,现有科研团队50余支,科研人员300余人。研究院全力攻坚生命健康领域关键技术研发,构建融孵化、加速、中试和产业化于一体的全链条式成果转化模式,已有多项代表性成果进入临床试验或融资阶段,并与温州市相关企业达成多项合作协议。   国科温州研究院公共技术服务中心拥有生物医用材料、纳米技术、组织工程与再生医学、医疗器械等研究领域的先进科研仪器设备。中心现有设备总值超亿元,其中包括国内先进的透射电镜、扫描电镜,Micro-CT、激光共聚焦显微镜、拉曼光谱仪等大型精密设备。研究院于2017年获批浙江省临床功能材料与诊疗器件工程技术研究中心,2020年获批组织修复材料浙江省工程研究中心,2021年获批浙江省新型研发机构。
成果资料
产业化落地方案
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成果综合评价报告

评价单位:“科创中国”紫外半导体光源科技服务团 (中国电子学会) 评价时间:2024-11-07

张逸韵

中国科学院半导体研究所

研究员

综合评价

该成果在高端半导体光刻胶专用高洁净容器的研制方面取得了显著进展,具有较高的技术创新水平和应用价值。该容器的出现,将有效提升光刻胶的纯度和稳定性,为半导体制造产业的发展提供有力支撑。同时,该成果还符合国家政策导向和市场需求,具有良好的市场前景和产业化前景。建议进一步加大研发投入和产业化力度,推动该成果的广泛应用和产业化发展。
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