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本发明公开了一种基于视觉图像的晶圆表面缺陷分区域检测方法，属于半导体缺陷检测与图像处理技术领域。首先将彩色晶圆表面图像进行分区分别包含了外轮廓区、氧化膜区、晶粒区，对每一个分区的缺陷进行单独的检测；外轮廓区可以检测的缺陷有崩边、崩角缺陷；氧化膜区可以检测的缺陷有氧化膜缺失、氧化膜跨区域、氧化膜锯齿；晶粒区可以检测的缺陷有污渍、红墨水、晶粒缺失、划痕、区域大面积的氧化膜缺陷、以及纹理缺陷；本发明实现了不需要训练样本集，特别适用于晶圆生产的初期与小批量特定类型的晶圆的表面缺陷检测，效率较人工显著提高，对特定类型检测有着重要的指导意义。

本发明中外轮廓区可以检测的缺陷有崩边、崩角缺陷；氧化膜区可以检测的缺陷有氧化膜缺失、氧化膜跨区域、氧化膜锯齿；晶粒区可以检测的缺陷有污渍、红墨水、晶粒缺失、划痕、区域大面积的氧化膜缺陷、以及纹理缺陷；本发明实现了不需要训练样本集，特别适用于晶圆生产的初期与小批量特定类型的晶圆的表面缺陷检测，效率较人工显著提高，对特定类型检测有着重要的指导意义。

机器人与智能装备产业创新服务综合体创建于2018年，位于余姚机器人智谷小镇，2020年升级为省级综合体，是余姚市创建的创新链、人才链、资金链、产业链专业化服务平台，现由浙江大学机器人研究院下的浙江湾区机器人技术有限公司负责建设。     综合体目前建有机器人与智能装备产业创新中心，重点打造人才服务基地和智能制造服务基地，高质量建设创新创业孵化、科技金融服务、知识产权服务、科技成果交易服务、政企对接服务等五大专业性平台。