科创中国

高端装备制造产业

本发明公开了一种可用于晶圆缺陷检测的任意倾斜角晶圆直线边长的提取与晶粒区隔离方法，首选进行晶圆数字图像的采集作为原图像；对原图像进行2次降采样，然后进行滤波处理，然后灰度化二值化；最小轮廓矩的求解得到晶圆的几何中心与倾斜角度；将倾斜的晶圆进行旋转操作保证旋转中心为几何中心，旋转后的晶圆图像垂直；基于设定的形态学结构元素进行水平与竖直的直线提取并计算其长度；根据长度与设定的阈值比较即可判断晶圆是否有崩边或是崩角缺陷；基于全局轮廓与最外层轮廓相减的方法，层层递进得到晶粒区晶圆的特征轮廓信息，对其包围面积值判断即可对缺陷的检测；本发明实现了较高精度的崩边、崩角、晶粒区的检测及提供了一种方法指导。

本发明实现了较高精度的崩边、崩角、晶粒区的检测及提供了一种方法指导，并且采样量较少，处理速度快，能够有效判断晶圆的缺陷。

机器人与智能装备产业创新服务综合体创建于2018年，位于余姚机器人智谷小镇，2020年升级为省级综合体，是余姚市创建的创新链、人才链、资金链、产业链专业化服务平台，现由浙江大学机器人研究院下的浙江湾区机器人技术有限公司负责建设。     综合体目前建有机器人与智能装备产业创新中心，重点打造人才服务基地和智能制造服务基地，高质量建设创新创业孵化、科技金融服务、知识产权服务、科技成果交易服务、政企对接服务等五大专业性平台。