科创中国

高端装备制造产业,智能制造装备产业

针对微纳米三坐标测量机的开发，形成如下成果： 1）开发出了一套能满足跨尺度微小尺寸测量需求的接触式测头，具体指标为：分辨力1 nm，重复性20 nm，测球球径小于100 mm，允许触碰范围大于10 μm。该成果可用于带有高深宽/径比特征微器件（诸如燃油喷嘴、陶瓷轴承、光纤套圈等）的测量场合，还可利用微球与被测物体表面之间的微观力实现非接触无损测量。 2）开发了基于压电陶瓷串并联混合驱动的亚纳米级驱动分辨力的高精度六自由度微位移工作台，线位移分辨率优于0.5 nm，角位移分辨率优于0.2″。该成果除用于微纳米三坐标测量机外，还可用于精密仪器纳米级精确定位和姿态补偿。 3）开发了微纳米三坐标测量机用高精度恒温箱，温度稳态控制精度 20±0.05 ℃。该成果可用于精密环境控制领域，可以为测量仪器提供高稳定性测量环境。

针对微纳米三坐标测量机的开发，形成如下成果： 1）开发出了一套能满足跨尺度微小尺寸测量需求的接触式测头，具体指标为：分辨力1 nm，重复性20 nm，测球球径小于100 mm，允许触碰范围大于10 μm。该成果可用于带有高深宽/径比特征微器件（诸如燃油喷嘴、陶瓷轴承、光纤套圈等）的测量场合，还可利用微球与被测物体表面之间的微观力实现非接触无损测量。 2）开发了基于压电陶瓷串并联混合驱动的亚纳米级驱动分辨力的高精度六自由度微位移工作台，线位移分辨率优于0.5 nm，角位移分辨率优于0.2″。该成果除用于微纳米三坐标测量机外，还可用于精密仪器纳米级精确定位和姿态补偿。 3）开发了微纳米三坐标测量机用高精度恒温箱，温度稳态控制精度 20±0.05 ℃。该成果可用于精密环境控制领域，可以为测量仪器提供高稳定性测量环境。

合肥工业大学